판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293754594

CANON FPA 5500 iZa는 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 대형 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 패턴화 (patterning) 에도 탁월한 처리량을 제공하여 비용 효율성과 성능을 모두 제공합니다. 전체 4-D (3D + E) 웨이퍼 정렬 및 4-D 피드백을 사용하여 한 번에 단일 노출을 제공합니다. 레티클은 편리성과 신뢰성을 위해 카세트로드 장비로 보관됩니다. CANON FPA-5500IZA는 5x6mm 시야가 넓으며, 표준 스캔 시간에 비해 100 배 가속을 제공하여 레티클 크기에 따라 시간당 최대 17,000 개의 다이 (die) 를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 고성능, 고정밀 포커싱 시스템을 갖추고 있으며, 정렬 정확도는 +/-3nm, 초점은 1.72um입니다. 이는 레티클 (reticle) 및 웨이퍼 (wafer) 크기에 관계없이 매우 엄격한 내결함성을 제공하여 안정적이고 고성능 구성 요소를 생산할 수 있습니다. 이 기계는 운영 방식에서 유연하며, 생산을 최적화하는 다양한 기능 (예: 다중 노출, 자동 이미지 처리) 이 있습니다. Precollect, shot, verification 및 History 전송을 위한 다양한 자동 옵션과 함께 소프트웨어 제품군도 제공됩니다. 마지막으로, 자동 레티클 교환 장치 (Automatic Reticle Exchange Unit) 에 의해 처리량 및 생산성이 더욱 향상되어 표준과 단계를 모두 교환하고 레티클을 빠르고 효율적으로 반복 할 수 있습니다. FPA 5500IZA는 프리미엄 웨이퍼 스테퍼로, 비용 효율성과 성능을 모두 제공하기 위해 CANON이 설계하고 개발했습니다. 폭넓은 시야, 고성능 포커싱 머신 (focusing machine), 유연한 운영 방식 및 다양한 자동화 옵션 (automated options) 을 통해 높은 처리량과 생산성을 갖춘 안정적인 구성 요소를 생산할 수 있습니다.