판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293644154

CANON FPA 5500 iZa는 스텝 앤 리피트 머신 (step-and-repeat machine) 이라고도하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 집적 회로에서 매우 정확하고 세밀한 노출 패턴을 생산하는 데 사용됩니다. 이 스테퍼는 강력한 iZa Illumination Equipment (iZa Illumination Equipment) 를 사용하여 모든 범위의 반사 및 전송 노출 렌즈, 고급 정렬 단계 및 고급 모터 제어를 통해 최대 이미징 성능을 달성합니다. 이 스테퍼는 레이저 빔 제어 XY 스테이지 및 듀얼 빔 노출 헤드와의 경쟁에서 벗어납니다. 최대 800 nm 노출 파장, 16nm 스텝 크기 및 30 X 이상의 해상도를 갖춘 이 기계는 최고의 사양을 충족하는 매우 정확하고 정확한 노출 패턴을 제공 할 수 있습니다. CANON FPA-5500IZA의 직관적인 인간-기계 인터페이스는 전체 노출 프로세스가 부드럽고 효율적으로 실행되도록 합니다. 탐색이 용이한 소프트웨어와 사용자 친화적 인 기능 선택을 통해 운영자는 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 스티어링 시스템의 도움을 받아 웨이퍼를 로드, 정렬, 노출시키는 것이 바람직합니다. 한편, 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 프로세스의 각 단계에 대한 가시성을 제공하여 진행 상황을 쉽게 모니터링하고 매개변수를 실시간으로 조정합니다. FPA 5500IZA 에는 이미지 품질을 최적화하는 고급 왜곡 측정 시스템 (Advanced Distortion Measurement System) 및 빔 블랭커 (Beam Blanker) 를 포함한 다양한 액세서리를 사용할 수 있습니다. 각 빔 블랭커 (beam blanker) 는 다른 양의 빛을 전달하여 노출 과정에서 더 큰 유연성을 제공합니다. 또한 다양한 소프트웨어/하드웨어 옵션을 추가하여 효율성 및 유연성을 극대화할 수 있습니다. 최대 성능 및 수명을 보장하기 위해 스테퍼는 정교한 옵티컬 피드백 (optical feedback) 시스템과 고급 제어 알고리즘을 사용하여 진동을 최소화하고, 전력 소비를 줄이고, 더 나은 노출 균일성을 제공합니다. CANON FPA-5500 IZA는 24/7을 실행하도록 설계되었으며, 혁신적인 온도 조절 장치는 안정적인 작동과 안정적인 성능을 보장합니다. 모두 CANON FPA 5500IZA는 최고의 이미징 및 성능 기능을 갖춘 고급 유지 보수 (low-maintenance) 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀 기계는 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 결과를 통해 뛰어난 노출 정확도를 보장합니다. 이 도구는 효율적이고 비용 효율적인 microelectronic 생산에 대한 표준을 계속 설정합니다.