판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293628566

CANON FPA 5500 iZa는 반도체 제조 작업을 완료하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정확한 프로세스를 촉진하는 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 레이저 노출이 있는 이중 이미징 (dual imaging) 장비를 사용합니다. 이 장비는 노출 및 정렬 매개변수를 개별적으로 관리할 수 있습니다. CANON FPA-5500IZA는 고급형 정렬 정확도를 제공하며, 기존 시스템에 비해 측정 시간이 5 배 단축됩니다. 또한, 조절 가능한 전력 범위의 고출력 레이저 표시등을 갖춘 개선된 이미징 시스템 (영상 시스템) 을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 수용 할 수있는 고급 스테이지 플랫폼 (Advanced Stage Platform) 이 장착되어 있으며 +/-1jm의 모션 반복성을 제공합니다. 또한 CANON 독점 Auto-Focus Sensor가 장착되어 있어 가장 빠르게 측정하고 포커스 위치를 정확하게 변경할 수 있습니다. CANON FPA 시리즈에는 노출 정렬 및 패턴 결정과 같은 여러 기능이 있습니다. 노출 정렬 (exposure alignment) 기능은 모든 노출이 매우 정확한지 확인하고, 패턴 결정 (pattern determination) 기능을 통해 모든 패턴이 정확하게 결정되고 정렬되었는지 확인합니다. 이 장치는 또한 스테이지 교란, 자가 청소 기술, 단순하고 직관적인 사용자 인터페이스를 최소화하기 위해 4축 교정 (correction) 방식의 기울기 제어 장치를 제공합니다. 캐논 (CANON) FPA는 낮은 에너지 소비량, 최소 진동 및 낮은 냉각기 요구로 인해 환경에 미치는 영향이 낮습니다. 이 제품은 완벽한 통합과 간편한 네트워크 접속을 위해 설계된 제품으로, 기존 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 포괄적인 서비스/유지 보수 지원, 다양한 옵션/업그레이드 기능을 제공합니다. 전반적으로 FPA 5500IZA는 매우 효율적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 제조에 적합합니다. 이 제품은 매우 정밀한 정렬 도구, 기울기 제어 자산, 자가 청소 기술, 낮은 에너지 소비량, 기존 시스템에 쉽게 통합할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. 다양한 옵션 (옵션) 과 업그레이드 가능 (업그레이드 가능) 을 통해 모든 반도체 제조 요구를 충족할 수 있습니다.