판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293606900

CANON FPA 5500 iZa 웨이퍼 스테퍼는 최대 300mm의 매우 큰 웨이퍼를 패턴화하도록 설계된 반도체 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 최고 수준의 정확성과 고급 장치 모니터링 (Advanced Unit Monitoring) 및 제어 기능을 갖춘 고해상도 인코더 (High-Resolution Encoder) 를 통해 처리량을 극대화합니다. 이 기계는 65nm 노드 이상에서 30 nm 이하의 실리콘 생산 및 생산에 적합합니다. 이 도구는 고급 중이온 리소그래피를 사용하여 최상위 패턴 정확도와 오버레이 성능을 보장합니다. 해상도 기능은 0.7nm 라인/공간에서 15nm까지, 오버레이 기능은 1.3nm에서 15nm까지 다양합니다. 고급 중이온 리소그래피 (heavy ion lithography) 는 높은 처리량, 적은 수의 레티클 변경 및 적은 노출으로 생산성을 향상시키는 데 도움이됩니다. CANON FPA-5500IZA 웨이퍼 스테퍼는 고성능 감독 제어 자산 인 CORE GXP 266으로 구동되며, 여기에는 애플리케이션 유연성 및 확장성을 극대화하는 Windows CE 기반 운영 모델이 포함되어 있습니다. FPA 5500IZA는 또한 모든 최첨단 프로젝션 광학, 스테이지 및 검출기 시스템, 고정 5 축 웨이퍼 처리 장비를 갖추고 있습니다. CANON FPA-5500 IZA는 또한 최고의 작동 성능을 위해 고급 수준의 순도, 열 안정성 및 진동 감소를 제공합니다. FSM (Free Scanning Mode) 기술은 운영 성능을 더욱 향상시켜 전체 스테퍼를 다시 초기화할 필요 없이 웨이퍼 (Wafer) 노출을 스캔할 수 있습니다. 또한 최대 0.42um/sec 를 스캔하여 카메라 노출 시간을 줄이고 처리량을 늘릴 수 있는 고급 (Advanced Stage) 기술을 갖추고 있습니다. FPA 5500 iZa는 최첨단 리소그래피 성능, 초고해상도 성능, 고급 수준의 안정성, 정확성, 처리량을 자랑하는 웨이퍼 생산 분야의 선두 주자입니다. 이 시스템은 가장 고급 65nm 및 45nm 반도체 노드의 복잡한 장치와 패턴을 생성하는 데 이상적입니다.