판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293606898
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ID: 293606898
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa는 고급 반도체 제작을 위해 개발 된 고급 칩 이미징 및 석판 장비입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 시스템은 고급 석판 기술 운영 및 정밀 웨이퍼 매핑 기능을 위해 설계되었습니다. 핵심 기능에는 대용량 광 필드 (optical field) 와 높은 처리량, 저소음 빔 스캐닝 (low noise beam scanning) 이 포함되어 있어 탁월한 이미지 및 리소그래피 성능을 제공합니다. CANON FPA-5500IZA는 20 인치 미만의 대형 조명 필드로 설계되었으며 큰 다이 피치 (die-pitch) 응용 프로그램을 허용합니다. 이 큰 필드는 특히 더 큰 칩을 머시닝 할 때 프로세스 마진을 확장합니다. 이 장치는 충격 내성 (How Shock Resistance) 및 부식 내성 (부식 내성) 설계를 특징으로하여 가혹한 산업 공정 상태에서 수행 할 수 있습니다. 전력 소비량도 향상되어 탁월한 에너지 효율성을 제공합니다. FPA 5500IZA에는 고정밀도, 저소음 빔 스캐닝 (noise beam scanning) 이 장착되어 있어 작은 배치를 처리하고 단일 레이어의 경우 마이크론 정확한 기능 크기를 만들 수 있습니다. 이 검사 기술 은 "웨이퍼 '의 오염 수준 을 대폭 감소 시켜, 훨씬 더 정밀 한 정밀도 를 제공 하는 깨끗 한 과정 을 제공 한다. 이 기계는 또한 크고 강력한 스캐닝 플루이드 렌즈 (scanning fluid lens) 를 장착하여 20 비트 색 깊이로 0.75 마이크로 미터의 해상도까지 출력할 수 있습니다. CANON FPA 5500IZA는 광전 격자를 사용하여 정확한 배치 및 정밀한 정렬로 빠른 패턴을 만듭니다. 이 기술은 또한 작은 (small) 패턴과 큰 (large) 패턴 사이를 쉽게 전환 할 수 있기 때문에 중단없는 프로그래밍을 허용합니다. 또한, 자산의 고정밀 정렬 기능을 통해 정확한 패턴 포지셔닝 및 신뢰성을 확보할 수 있습니다. FPA-5500IZA 는 고급 (advanced) 알고리즘과 통합된 고급 (advanced) 컴퓨터 모델과 소프트웨어를 통해 웨이퍼에 고해상도와 대형 (large-field) 패턴을 정확하게 매핑할 수 있습니다. 이 장비는 몰입 리소그래피와 같은 고급 리소그래피 (lithography) 를 수행하고 고급 UV, X-ray 및 e-beam 이미징과 같은 고급 웨이퍼 이미징을 사용할 수 있습니다. FPA 5500 iZa 는 안정적이고 에너지 효율이 높은 설계, 고급 이미징 및 석판화 (lithographic) 기능, 정확한 웨이퍼 매핑 기술을 통해 고급 칩 제작 및 석판화 (lithographic) 작업을 지원합니다.
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