판매용 중고 CANON FPA 5500 iZa #293606891

CANON FPA 5500 iZa는 정확한 정렬 및 노출 솔루션이 필요한 반도체 장치 제조업체를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 사용자에게 높은 수준의 정확성과 균일성을 제공하는 단일 빔 투영 정렬 (single-beam projection-aligner) 유형입니다. 캐논 FPA-5500IZA (CANON FPA-5500IZA) 는 실수가 적은 양질의 제품을 만들어 전체 프로세스를 개선하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 조명 필드 크기는 7.5 ~ 55 m이고 최소 기능 크기는 0.5 m입니다. 스테퍼의 정렬 정확도는 최대 2.5 m이며, 최소 측정 가능한 선 너비는 0.15 jm입니다. FPA 5500IZA에는 정렬 및 노출 모두에 대한 분 조정을 위해 3 축 (X, Y 및 Z) 으로 움직일 수있는 기계적 단계가 있습니다. 또한, 스테퍼에는 빠르고 정확한 정렬 표시 등록을 위해 고해상도 이미징 시스템이 있습니다. 또한 자동 포커스 제어 (Automatic Focus Control) 와 수동 포커스 제어 (Manual Focus Control) 를 모두 갖추고 있어 더욱 정확하고 반복 가능합니다. 또한 FPA-5500 IZA 에는 광범위한 노출 시스템이 있으며, 여기에는 여러 배치 간에 제품의 일관성을 보장하는 셔터리스 레이저 (shutterless laser) 소스가 포함됩니다. 이 시스템은 스테퍼 (stepper) 자체에 통합되어 광범위한 노출 목표에 적응할 수 있습니다. 또한, 향상된 낮은 반사 미러는 전체 노출 시간을 줄이고 이미지 정확도를 향상시킵니다. 스테퍼는 사용자 친화적 인 그래픽 디스플레이 터미널과 소프트웨어 제품군을 갖춘 사용자 친화적 (user-friendly) 으로 설계되었습니다. 이 소프트웨어 제품군을 사용하면 정렬, 노출 (exposure), 노출 후 처리 (post-exposure processing) 등 다양한 제조 프로세스에 대한 자동 입력 및 제어가 가능합니다. 스테퍼는 수동, 자동, 오프라인, 온라인 모드 등 다양한 모드로 작동 할 수 있습니다. CANON FPA 5500IZA는 제조업체에 뛰어난 정확성, 반복 가능성 및 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 다재다능하고 적응력이 뛰어난 스테퍼로, 반도체 제품 제조업체에 적합합니다. 다양한 프로세스용으로 프로그래밍할 수 있으며, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 사용이 간편합니다 (영문). 마지막으로, 혁신적인 디자인은 전반적인 제조 공정을 개선하기 위해 설계되었으며, 실수가 적은 우수 제품을 생산합니다.