판매용 중고 CANON FPA 5000 iZ #9258487

캐논 FPA 5000 iZ (CANON FPA 5000 iZ) 는 다양한 고급 사진 리토그래피 프로세스에서 뛰어난 성능을 달성하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 CANON 고유의 높은 처리량 이미징 기술을 특징으로하며 0.2 µm 이상의 높은 정밀도로 작동합니다. OPC (optical proximity correction) 및 SWI (Subwavelength Imaging) 와 같은 가장 고급 제작 기술에 최적화되었습니다. FPA 5000 iZ의 최대 프로젝트 크기는 6 인치 x 6 인치이며, 고해상도 옵틱을 사용하여 0.2 초까지 이미징 기능을 수행 할 수 있습니다. Optics 패키지에는 안티 디포커스/수차 보정 시스템 (anti-defocus/aberration correction system) 과 조명 조정을위한 금속 할라이드 램프 (metallic halide lamps) 를 포함한 고성능 광학이 있습니다. 이 장치에는 고급 패턴 절삭 (pattern cutting) 및 스티칭 (stitching) 소프트웨어가 장착되어 있어 대용량 이미징을 활용하고 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. CANON FPA 5000 iZ는 또한 포토 리토 그래피 프로세스의 물리학에 의해 발생하는 "마크 (mark)" 또는 이미지 왜곡을 최소화하고 최소화하도록 설계된 다수의 고급 시스템을 포함합니다. CANON 독점 Transmittance/Reflectance Low Angle Interference (TRLIA) 머신은 퇴적물에 대한 임계 노출 각도를 자동으로 조정하는 반면, CANON 특허 보류 UHC (Ultra High Contrast) 도구는 밀도가 높은 고종횡비 패턴을 이미징할 수 있습니다. 정밀도. FPA 5000 iZ는 석판화 시장에서 사용 가능한 최상위 시스템 중 하나입니다. 또한 다양한 기능과 향상된 성능, 정확성을 제공합니다. 자산의 고급 옵틱, 기능 및 디자인은 고품질 이미징을 초래합니다. 또한, 모델의 분산을 쉽게 조정할 수 있으며, 따라서 사용자는 다른 초점 (focus) 요구사항 사이를 전환할 수 있습니다. 즉, 우수한 수준의 품질, 정확성, 성능을 갖춘 결과물을 통해 가장 까다로운 마이크로패브라이케이션 (microfabrication) 요구 사항을 충족할 수 있습니다.