판매용 중고 CANON FPA 5000 iZ+ #9237478
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CANON FPA 5000 iZ + 는 고급 정렬 및 스티칭 기술을 갖춘 다용도 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 웨이퍼 처리를 용이하게 하도록 설계되었습니다. 높은 정확도, 낮은 왜곡 및 다양한 스캐닝 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 LCD, CCD, 광학 부품, 평면 패널 디스플레이, 반도체 장치 구성 등과 같은 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 최대 10nm 정확도, 0.05nm 반복성 및 최대 50nm 속도를 제공하는 스테퍼 스테이지가 포함됩니다. 스테이지는 통합 모션 옥튜플 모터로 구동되며, 빠른 웨이퍼 처리를 위해 최대 5m/s 의 속도를 제공합니다. 또한, 내장 스캐닝 옵틱은 최대 2nm까지 높은 정확도 정렬 기능과 50x100jm까지 낮은 왜곡을 보장합니다. FPA 5000 iZ + 에는 다양한 센서, 컨트롤러, 레이저, 카메라 및 레이저 펄스 정지 기계를 포함한 다양한 액세서리가 있습니다. 센서에는 빠른 정렬 및 스티치 교정을 위한 최신 자동 교정 (auto-calibration) 기술이 적용되어 1.5nm 미만의 반복 가능한 정확도를 제공합니다. 컨트롤러는 3D에서 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게 합니다. 레이저는 웨이퍼 진동을 최소화하고 부드러운 스캐닝을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 카메라가 통합되어 강력한 이미지 처리 기능을 제공합니다. 또한, 레이저 펄스 스톱 (laser pulse stop) 도구는 과다 노출을 피하여 웨이퍼 손상을 최소화하기 위해 원하는 위치에서 레이저 펄스를 정확하게 중지하도록 설계되었습니다. 전체적으로 CANON FPA 5000 iZ + 는 정확한 웨이퍼 처리에 적합한 자산입니다. 고급 정렬 및 스티칭 기능, 높은 정확도, 낮은 왜곡, 다양한 어플리케이션을 위한 다양한 액세서리 (액세서리) 가 특징입니다. 고정밀도 웨이퍼 프로세싱에 이상적이며, 안정적이고 효율적인 생산 프로세스를 제공합니다.
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