판매용 중고 CANON FPA 5000 ES4 #9282327

CANON FPA 5000 ES4 웨이퍼 스테퍼는 고급 반도체 석판 장비입니다. 반도체 제작 플랜트에 사용하도록 설계된 이 스테퍼는 고급 프로젝션 광학 (Advanced Projection Optic) 과 고정 장치 (Retainer) 를 활용하여 다양한 웨이퍼 모양과 크기를 지원합니다. 초저효율 레이저 반사율 (Ultra-Low Laser Reflectivity) 설계는 뛰어난 이미지 품질과 향상된 이미징 정확성을 보장하는 반면, 처리 속도가 매우 빨라져 주기 시간이 단축되고 처리량이 증가하며, 전체 비용이 절감됩니다. CANON FPA-5000 ES4 는 .83 의 뛰어난 수치 조리개 (NA) 덕분에 뛰어난 패턴화 기능을 제공하며, 이를 통해 광범위한 현장 심도와 향상된 프로세스 위도를 구현할 수 있습니다. 228.6mm (9 ") 의 대형 필드 크기는 웨이퍼 처리에 유연성을 제공하는 반면, 1/6 밀리초 노출 시간은 0.33hm까지 작은 기능을 위해 높은 해상도와 처리량을 보장합니다. 스텝은 정밀 온축 감소 된 조향 장비 (steering equipment) 덕분에 반복성을 보장하여 프로젝션 광학에 대한 웨이퍼의 정밀 정렬을 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 얇은 기판의 웨이퍼 플랜지 로딩 및 처리를 줄이기 위한 통합 진공 장치 (integrated vacuum unit) 도 포함되어 있습니다. 이 기계에는 다양한 자동화 옵션 및 기능 (예: 통합 웨이퍼 로더, 스토커, 완전 자동 웨이퍼 검색 및 이동) 이 있습니다. 고급 리프트 레티클 스테이지 (Advanced Lift Reticle Stage) 는 레티클 배치의 속도 및 정확성을 향상시키기 위해 다양한 정렬 기능을 제공합니다. 또한 고급 OCR 에어 스캐너 (OCR Air Scanner) 와 같은 다양한 추가 구성 요소로 쉽게 업그레이드할 수 있으며, 이 도구는 다양한 웨이퍼 크기에 걸쳐 고정밀 측정을 제공합니다. 마지막으로, FPA-5000 ES 4는 예기치 않은 사고의 경우 레이저 작동 중지 (Emergency Stop) 와 같은 고급 안전 기능을 제공합니다. 또한 스테퍼 (steper) 안팎의 전기, 기계, 환경 조건에 대한 강력한 모니터링이 포함되어 있어 안전하고 신뢰할 수 있는 처리 환경을 제공합니다. 또한, 자산은 글로벌 용도로 인증되며, 적용 가능한 모든 안전 표준을 충족합니다.