판매용 중고 CANON FPA 5000 ES4 #9267141
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판매
ID: 9267141
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Scanner, 12"
Illumination
Scan illumination
Z-Spin
Wafer type: Notch
CYMER ELS 7300 KrF Scanner laser, 248 nm
Laser
Right side console
Surface illumination (Standard): 36000 W/m²
R-Type inline direction
Reduction ratio: 1:4
Resolution: 120 nm
Alignment accuracy: 20 nm
Throughput:
AGA (8) Shots 110 wafer/hour
Step pitch: 26 nm x 33 mm
(64) Shots, 12"
Exposure amount: 300 J/m²
(3) Lighting NA:
0.80/σ0.80 Conv
0.80/σ0.40 Conv
0.80/SiB2
Projection lens NA: Variable 0.55-0.80
Exposure range (scan field): 26 x 33 mm
Wafer alignment: AGA (Off axis scope)
Reticle library: (7) Sheets
Options:
PPC Unit, 6"
Reticle barcode reader (2D), 6"
Signal tower
Relay FOUP unit
2003 vintage.
CANON FPA 5000 ES4는 장치 생산의 리소그래피 요구를 위해 설계된 전용 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 장비로, 제조 프로세스의 디바이스 일관성을 극대화합니다. 업계 최고의 모션 제어 및 Optics 기술을 사용하는 CANON FPA-5000 ES4 는 고해상도 이미징, 병렬 처리 기능, Wafer 의 최소 열 압축 등의 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 프로세스 안정성과 반복성이 크게 향상됩니다. FPA-5000 ES 4 스테퍼는 본체, 스캐너, 레이저 다이오드 어레이 소스, 이미징 광학 및 초정밀 단계로 구성됩니다. 본체 에는 모든 "시스템 '구성 요소 가 들어 있으며," 스캐너' 는 원하는 "패턴 '을 만드는 데 사용 된다. 이 장치의 이미징 광학은 최상위 제품으로, 사용 가능한 최고 해상도를 제공합니다. 또한, 레이저 다이오드 어레이 소스는 830nm 노출 파장에 최대 허용 전력을 제공합니다. 정확성을 보장하기 위해 스테퍼에는 CANON 초정밀 스테이지 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이 복잡한 기계는 선형 모터에 의해 구동되고 매우 정확한 위치 지정 도구를 제공하는 2 개의 직교 U 축을 갖추고 있습니다. 결과적으로, 스테이지는 웨이퍼를 사용하여 패턴을 가장 잘 정렬할 수 있으며, 이는 오버레이 (overlay), 포커싱 (focusing) 및 왜곡 (distortion) 수정 측면에서 탁월한 프로세스 성능을 초래합니다. 또한 FPA-5000 ES4 스테퍼는 광범위한 소프트웨어, 자동화 및 데이터 수집 툴을 갖추고 있습니다. 이를 통해 리소그래피 프로세스를 보다 효율적으로 생산 및 자동화할 수 있습니다. 안전성을 보장하기 위해 자산은 광학 센서, 모션 컨트롤, 전원 연결 (Power Interlock) 등 여러 조건부 안전 연동부를 통합합니다. FPA 5000 ES4 스테퍼는 장치 생산에서 리소그래피 (lithography) 요구 사항에 탁월한 성능과 안정성을 제공하도록 설계된 안정적이고 고급 모델입니다. 모션 컨트롤 (Motion Control), 옵틱 (Optics), 스테이지 메커니즘 (Stage Mechanism) 을 포함한 최강의 기술로, 이 장비는 높은 수준의 정확성과 프로세스 제어를 제공하여 생산이 더욱 일관되게 이루어집니다.
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