판매용 중고 CANON FPA 5000 ES4 #9251788

CANON FPA 5000 ES4는 반 도체 제조를위한 웨이퍼 스테퍼로 사용되도록 설계된 마이크로 리토 그래피 프로젝션 정렬 시스템입니다. 큰 형식의 이미지 필드 (Image Field) 를 특징으로하는이 제품은 높은 정확도의 복잡한 패턴을 생산하기에 이상적인 스테퍼입니다. 큰 이미지 필드 (Image Field) 는 160mm x 125mm이며 더 큰 회로에서 더 큰 기판과 도달하기 어려운 영역을 정렬하고 패턴화할 수 있습니다. 이렇게 하면 보다 정확한 스테퍼를 만들고 수동 정렬 (manual alignment) 기술에 대한 의존도를 줄일 수 있습니다. 캐논 FPA-5000 ES4 (CANON FPA-5000 ES4) 는 에지 감지 시스템 (edge detection system) 을 자랑하며, 각 웨이퍼의 가장자리를 찾아 표시하여 스테퍼가 각 웨이퍼의 올바른 부분에 패턴을 자동으로 배치합니다. FPA-5000 ES 4 스테퍼는 결정적 단계 동작 제어 및 대규모 패턴 필드 적용 범위를 제공하여 정확도를 높이고 프로세스 시간을 줄입니다. 또한 견고한 설계를 통해 공구의 가동 시간이 길어지고 처리량이 향상됩니다. 강력한 컴퓨터 아키텍처, 고해상도 스테레오 비전 (Stereo Vision), 고급 이미지 분석 (Advanced Image Analysis) 기능을 통해 더 정확한 패턴을 파악하고 정렬할 수 있습니다. 이것은 복잡한 회로 기판 생산에 이상적입니다. FPA-5000 ES4 는 운영 시 도구 성능을 최적화하는 사용자 친화적인 GUI 를 제공합니다. 즉, 직관적인 제어 기능을 통해 복잡한 단계를 간편하게 수행할 수 있고, 데이터를 원격으로 액세스할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 성능 향상을 위해 매개변수와 설정을 조정할 수 있도록 외부 제어 (external control) 가 추가로 장착되어 있습니다. 마지막으로 CANON FPA-5000 ES 4 스테퍼는 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 정밀 광학 장치, 신뢰성 있는 스테이지 모션 (stage motion), 강력한 이미징 제어 기능을 통해, 사용자가 매일 신뢰할 수 있는 정확한 반복 기능을 제공합니다. 이러한 수준의 일관성 (Consistency) 과 신뢰성 (안정성) 은 앞으로 몇 년 동안 반도체 제조에서 신뢰할 수있는 스테퍼로 유지 될 것입니다.