판매용 중고 CANON FPA 5000 ES4 #293817779
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ID: 293817779
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.80
Resolution: 180 nm
DCO: 25
Throughput (WPH): 65-300.
CANON FPA 5000 ES4는 최첨단 디자인의 완전하게 자동화된 웨이퍼 스테퍼로, 웨이퍼 프로세싱에서 웨이퍼 검사까지 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 CANON 고급 리소그래피 (lithography) 와 스테퍼 (stepper) 기술을 모듈식 레이아웃과 결합하여 작업을 빠르고 효율적으로 수행합니다. ES4 모델에는 정밀도를 보장하기 위해 독립적 인 사전 정렬기가 장착 된 통합 스테이지 시스템이 있습니다. 초당 최대 8 개의 고속 웨이퍼 (wafer) 이동이 가능하므로 처리량이 높으며 다양한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니다. 정확성을 극대화하기 위해, 이 장치는 고급 레이저 스캐너가있는 혁신적인 광학 이미징 아키텍처를 갖추고 있습니다. 고정밀 선형 스테퍼와 급지대는 웨이퍼를 렌즈에 완벽하게 정렬합니다. 이 고급 웨이퍼 정렬 장치 (Advanced Wafer Alignment Machine) 를 사용하면 광학의 각도, 초점 및 위치를 현장 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 스테퍼는 불리한 환경 상태에서도 최고 수준의 성능을 제공하는 깨끗하고 먼지가 없는 Optical Tool (광학 도구) 설계를 갖추고 있습니다. 또한 CANON FPA-5000 ES4는 높은 동적 범위 CMOS 카메라와 장거리 현미경으로 구성된 고해상도 이미징 자산을 제공합니다. 따라서 여러 실행 및 환경에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 스테퍼는 CANON 포괄적이고 사용자 친화적 인 소프트웨어 플랫폼을 활용하여 높은 수준의 변동성과 사용자 정의를 제공합니다. 사용자 직관적인 소프트웨어는 실험을 용이하게 하며, 대용량 운영 실행을 위한 설계 및 생산 프로세스를 간소화합니다. FPA-5000 ES 4 는 생산성을 향상시켜, 프로세스 단순성을 높여 사용자가 원하는 처리량을 그대로 유지하도록 지원합니다. 이 모델은 뛰어난 성능과 정밀도가 필요한 고정밀 어플리케이션에 적합합니다. 다양한 기능을 갖춘 ES4 는 다양한 애플리케이션/프로세스에 적합하며,
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