판매용 중고 CANON FPA 5000 ES3 #9200130

CANON FPA 5000 ES3은 광범위한 IC (Integrated Circuit) 웨이퍼 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 반도체 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 300mm 기판 크기를 특징으로하며, 전체 웨이퍼 출력 증가를 위해 높은 처리량을 제공합니다. 최대 18mm x 18mm의 스캔 필드 크기를 갖춘 CANON FPA 5000ES3는 복잡하고 고밀도 회로 패턴을 위한 고해상도 이미징을 제공합니다. 이것은 특히 혼합 논리 장치 및 고급 메모리 설계 생산에 유용합니다. 스테퍼의 고급 광학 장비는 5 배, 10 배 및 20 배의 광학 열 확대 범위를 자랑하며, 가장 긴 열 구성에서 1.35nm 최소 선폭을 달성 할 수 있습니다. FPA-5000 ES3은 정교한 듀얼 몬테 카를로 (Monte Carlo) 알고리즘을 통해 1/2 미크론 깊이의 초점이 지원되는 고급 도프 (depth-of-focus) 제어를 제공합니다. 이 스테퍼는 또한 최대 가동 시간과 생산성을 위해 설계되었습니다. 'follow-on' 조명과 섀도우 센서가 장착 된 'no-time-lost' 페일오버 시스템이 특징이며, 이로 인해 오작동시 다른 작업이 수행됩니다. 이 스테퍼는 웨이퍼 (wafer) 및 노출 시간 보정 (exposure time correction) 의 정확한 정렬을위한 시력 센서 모음과 노출 과정에서 잠재 결함을 감지하는 추가 인라인 검사 장치를 포함합니다. CANON FPA-5000 ES3는 SOI (silicon-on-insulater), SOG (silicon-on-glass) 또는 이러한 조합과 같은 여러 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 민감한 웨이퍼 (예: 노출 헤드의 고급 진동 격리) 를 보호하는 기능을 가지고 있으며, 이는 노출 중 진동 유발 실패를 방지합니다. 이 장비는 서비스 용이성과 신속한 유지 관리를 염두에 두고 설계되었습니다. 모든 구성 요소에 직접 액세스하고, 손쉽게 교체할 수 있는 부품으로, 유지 보수 시간을 최대 50% 까지 단축할 수 있습니다. FPA 5000 ES3 은 가장 까다롭고 고급 Wafer 생산 요구 사항에 가장 적합한 고급 Wafer Stepper 입니다. 고급 옵틱 머신, 고급 DOF 제어, 여러 웨이퍼 유형 및 서비스 기능 처리 기능을 갖춘 FPA 5000 ES 3은 IC 생산 시설에 적합한 선택입니다.