판매용 중고 CANON FPA 5000 ES3 #9114874

CANON FPA 5000 ES3은 반도체 집적 회로의 생산에 정확하고 정확성을 제공하는 웨이퍼 스테핑 장비입니다. 이 제품은 스캔 및 정렬 (scan-and-align) 광학 시스템으로 설계되었으며, 전체 회로 레이어에서 두 개의 수직 거리를 스캔하여 위치를 정확하게 정렬합니다. 이 장치는 200mm 이상의 활성 면적을 가진 3.5 미크론 정확도의 개선 된 렌즈 디자인을 사용합니다. 또한 3 개의 독립적 인 광학 및 조명 시스템을 갖추고 있으며, 해상도가 더 높고 동적 범위가 더 넓습니다. CANON FPA 5000ES3에는 로드 인 및 로드 아웃 기능을 통해 자동 정렬 및 빠른 웨이퍼 전환을 제공하는 고속 웨이퍼 핸들러가 있습니다. 웨이퍼에서 겹치는 이미지의 모터 구동 노출은 나노 미터 해상도 (nanometer resolution) 로 이루어져 더 높은 균일성과 정확성을 보장합니다. 이 기계의 스캐닝 면적은 10 ~ 200mm이며, 기판을 최대 200mm까지 처리 할 수 있습니다. 또한 FPA-5000 ES3는 Z축 움직임에 대해 +/- 0.1äm (/10) 의 반복 가능성을 달성 할 수있는 소프트웨어 제어 동력 단계를 사용합니다. 이 기능은 광학 정렬 기술 (Optical-Alignment Technology) 에 의해 더욱 보완되어 정확성과 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. 이 도구는 경적외선 레이저 스캐닝 (scanning) 과 고밀도 오버레이 (overlay) 측정을 위한 뛰어난 명암과 해상도를 제공하는 백색 조명 이미징을 결합한 특허받은 레이저 조명 자산을 자랑합니다. 또한 8 인치 및 12 인치 기판을 모두 지원하는 독특한 웨이퍼 처리 모델이 있습니다. 또한 FPA 5000 ES3 은 자동 정렬, 자동 로드, 자동 측정 기능과 같은 고급 자동화 기능을 제공합니다. 특허를받은 레이저 정렬 장비를 통해 각 레이어의 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 별도의 현미경을 필요로 하지 않게 하는 옵토 (opto) 기계적 설계를 통해 처리량을 높일 수 있습니다. FPA 5000ES3은 입자 제어를 강화하기 위해 다차원 자동 이동, 보조 렌즈, 고압 펌프와 같은 다양한 업그레이드 및 액세서리를 제공합니다. 고급 진단 기능 (Advanced Diagnostic Function) 을 통해 사용자는 신속하게 문제를 파악하고 적절한 해결 조치를 취할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자 친화적이며, 웨이퍼 재료와 기판을 처리 할 때 신뢰성이 높습니다. 또한 웨이퍼 처리, 마이크로 제조 및 리소그래피 응용 프로그램에도 사용할 수 있습니다.