판매용 중고 CANON FPA 5000 ES3 #9104392

CANON FPA 5000 ES3은 정확하고 비용 효율적인 리소그래피를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 공기 베어링 (Air Bearing) 기술을 통해 스테퍼 구성 요소를 매우 정확하고 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. CANON FPA 5000ES3는 산업 등급 재료로 건설되어 견고하고 안정적이며 오래 지속됩니다. "스테퍼 '는 200W" 레이저' 장비 로 구동 되어 폭 넓은 "웨이퍼 '크기 와 모양 을 수용 할 수 있다. 이를 통해 평평하고 불규칙한 형태의 기판에서 정확한 패턴을 효율적으로 생성 할 수 있습니다. 레이저 시스템은 0.2 마이크로 미터 미만의 상대 노출 정확도와 0.3 마이크로 미터 미만의 노출 반복 성을 특징으로합니다. 스테퍼는 또한 높은 정확도, 비휘발성, 비 자기 레이저 인코더를 사용합니다. 이 인코더는 스테퍼가 항상 정확한 패턴을 생성하도록 합니다. 다축 게이트 장치 (multi-axis gate unit) 도 있어 노출 방향을 빠르게 전환할 수 있습니다. 이를 통해 매우 복잡하고 복잡한 패턴을 쉽게 만들 수 있습니다. FPA-5000 ES3는 또한 여러 레이저 간섭계와 선형 인코더를 사용하는 업계 최고의 정렬 기계를 갖추고 있습니다. 이것 은 "스테퍼 '에게 1" 미크론' 이하 의 정확도 로 "웨이퍼 '를 효율적 으로 정렬 할 수 있는 능력 을 준다. 이렇게 하면, 사용자가 패턴과 레이어를 재현할 수 있고, 정확할 수 있다는 확신을 갖게 됩니다. 또한 이 스테퍼는 소스 제어 도구 (source control tool) 를 내장하여 레이저 빔이 항상 최적의 강도 범위에 있는지 확인합니다. 또한 CANON FPA-5000 ES3는 포괄적인 검사 도구를 제공합니다. 그것 은 육안 으로 볼 수 없는 "오염 지점 '을 정확 하게 탐지 할 수 있다. 이렇게 하면 오류 지점 (Point Source of Error) 을 제거할 수 있으므로 심각한 규정 준수 문제가 발생할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 미립자 오염을 감지 할 수 있으며, 그렇지 않으면 생산 과정이 느려질 수 있습니다. 마지막으로, FPA 5000 ES 3에는 다양한 옵션과 액세서리가 포함되어 있어 사용자 정의가 가능합니다. 따라서 특수 석판화 (lithography) 가 필요한 모든 고객에게 이상적인 제품입니다. 고급 기능, 견고한 디자인, 전반적인 성능 덕분에 생산성을 높이고 비용을 절감하고자 하는 사람들에게 탁월한 선택이 됩니다 (영문).