판매용 중고 CANON FPA 5000 ES3 #293609498

CANON FPA 5000 ES3은 마이크로 가공을 위해 고정밀 사진 해설을 사용하는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 특정 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있는 모듈식 (modular) 장비로, TCO (총소유비용) 가 뛰어나며 높은 수익률과 처리량을 제공합니다. 시스템의 주요 구성 요소는 스테퍼 코어, 메인 스테이지, 레티클 스테이지, 노출 장치 및 건조기/코터입니다. 스테퍼 코어는 마이크로스테퍼 플랫폼 (microstepper platform) 과 액정 장치 (LCD) 마이크로디스플레이 (microdisplay) 로 구성되어 있어 사용자가 이미지를 선택하고 볼 수 있습니다. 스테퍼 코어에는 정확한 웨이퍼 정렬을 위해 고해상도 인코더가 장착되어 있습니다. 주 단계에는 웨이퍼 정렬 및 위치 지정을 위한 2 개의 고해상도 드라이브 축이 있습니다. 정밀도가 높은 고정밀 공기 베어링 구조가 특징입니다. 주요 무대에는 자동 로더 (automated loader) 가 내장되어 있고, 환경 요동으로부터 기계를 보호하기 위한 환경실 (environmental chamber) 도 있습니다. 레티클 스테이지에는 X, Y 및 Z 방향으로 레티클의 부드럽고 정확한 이동을위한 2 개의 선형 모터가 있습니다. 최적의 레이저 정렬을 위해 고출력 레이저 다이오드가 장착되어 있습니다. 레티클 홀더는 최적의 디플렉션 안정성을 위해 설계되었으며 레티클 효과를 제거합니다. 노출 도구에는 고속 조명을위한 등방성 플라즈마 소스 (isotropic plasma source) 와 이미지 품질 향상을 위해 원형 편광 조명 에셋 (circular polarized illumination asset) 이 장착되어 있습니다. 또한 고급 제어 시스템과 웨이퍼 정렬 및 이미징 소프트웨어가 있습니다. CANON FPA 5000ES3에는 직접 압력과 진공을 사용하여 포토 esist를 웨이퍼에 코팅하는 건조기/코터 모델도 포함됩니다. 건조기/코터 장비는 온도가 제어되며 균일 한 코팅 및 건조 기능을 제공합니다. 전반적으로 FPA-5000 ES3 은 높은 수율, 처리량, 탁월한 TCO (총 소유 비용) 를 제공하는 매우 정밀한 웨이퍼 스테퍼입니다. 모듈식 설계를 통해 간편한 사용자 정의 및 업그레이드가 가능하며, 고급 제어 시스템 (Advanced Control Systems) 과 소프트웨어는 정확한 사진 촬영 이미징 및 레티클 (Reticle) 정렬을 지원합니다.