판매용 중고 CANON FPA 5000 ES3 #293592110

CANON FPA 5000 ES3은 대용량 생산을 위한 탁월한 정확성과 처리량을 제공하도록 설계된 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 캐논 FPA 5000ES3 (CANON FPA 5000ES3) 은 고급 스캐닝 패턴과 정밀 모터 제어를 사용하여 최소한의 바이어싱 또는 수차로 노출 평면을 가로 질러 가장 섬세한 웨이퍼조차도 빠르게 이동합니다. 스테퍼 (stepper) 는 더 작고 복잡한 전송 마스크를 노출시키는 데 중요한 높은 배율과 큰 노출 필드를 허용합니다. FPA-5000 ES3 은 중첩된 가변 블록을 활용하여 처리량을 극대화하고 정확성을 유지하는 정교한 제어 장비를 갖추고 있습니다. 제어 시스템은 고정 패턴 (Fixed Pattern) 과 가변 필드 배치 (Variable Field Placement) 모두에 매크로 노출을 제공하여 노이즈를 줄이고 더 높은 수율을 생성합니다. CANON FPA-5000 ES3에는 더 큰 스캔을위한 확장 된 라이트 필드가 있으며, 이는 결함 속도를 낮추는 데 도움이됩니다. 스테퍼는 PDF 기반이 아닌 알고리즘을 사용하여 지속적인 초점 정확성을 보장하는 일관된 자동 초점 처리가 가능합니다. 또한 FPA 5000ES3 에는 정밀 정렬 및 노출 등록을 달성하기 위해 안정적이고 반복 가능한, 정밀 단계에 탑재된 고성능 옵틱 (optic) 이 포함되어 있습니다. CANON FPA 5000 ES 3은 0.25 마이크로미터 (0.25 마이크로미터) 까지 해상도를 달성 할 수있는 고급 웨이퍼 노출 장치를 갖추고 있습니다. 스테퍼에는 4k 라인 피치 (line-pitch) 노출 기능이 있으며, 더 빠르고 정확한 전송이 가능하며, 확장된 뷰 포트는 원치 않는 빛을 확산적으로 줄이는 데 도움이됩니다. FPA 5000 ES 3은 자동 정렬 및 노출 격차 조정을 사용하여 잘못된 오류를 줄이고 레티클 생존성을 향상시킵니다. FPA 5000 ES3 은 고급 셔터 머신 (shutter machine) 을 탑재하여 고강도 경환경 (light environment) 에서 노출에도 견딜 수 있으며, 정확한 노출 시간 및 강도 제어가 가능합니다. 이 스테퍼에는 노출 된 웨이퍼로 인한 잠재적 결함을 식별하는 데 도움이 되는 최첨단 결함 검사 (State-of-Art) 검사 도구가 장착되어 있습니다. 안정성과 수명을 보장하기 위해 CANON FPA 5000 ES3 은 최고의 재료로 구성되며, 기계의 수명주기에 걸쳐 최적의 성능을 보장하는 여과 (filtration) 및 유지 관리 (maintenance) 자산을 포함합니다. CANON FPA 5000ES3 의 정확성과 고급 기능은 대용량 및 정밀 웨이퍼 (wafer) 생산에 필수적인 도구입니다. FPA-5000 ES3 는 성능 최적화, 처리량 우수, 결함 감지 기능 우수 등을 통해 최소한의 폐기물로 장치당 주기 시간 및 비용 절감, 고급/경제적인 웨이퍼 (wafer) 처리 요구 사항에 이상적인 솔루션을 구축할 수 있습니다.