판매용 중고 CANON FPA 5000 ES3 #293588073

CANON FPA 5000 ES3은 여러 가지 고급 기능이 장착 된 5 미크론 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 운영 환경을 위해 설계된 이 제품은 효율적인 멀티 프로젝트 웨이퍼 (wafer) 처리에 이상적인 솔루션입니다. 첨단 옵티컬 장비는 고음질, 저왜곡, 회절식 (diffractive) 광 요소 및 고속 스테이지 메커니즘을 활용하여 높은 처리율로 빠르고 정확한 정렬 및 측정을 제공합니다. 또한 CANON FPA 5000ES3에는 고급 자동 초점 (auto-focus) 시스템이 장착되어 있어 모든 광학 조건에서 샘플에 균일하게 초점을 맞춰 정확한 측정 및 정렬을 보장합니다. 전체 스캔 회선 (full scan line) 과 패턴 이미지의 정확한 배치 (placement of pattern image) 는 고급 어플리케이션에 필요한 최고의 프로세스 반복성과 성능을 제공합니다. FPA-5000 ES3에는 용량, 정렬, 초점 등 중요한 매개변수의 현지화된 웨이퍼 매핑뿐만 아니라, 전체 웨이퍼 매핑을 모두 지원하는 고가용성 웨이퍼 매핑 장치가 통합되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 중요한 구조의 노출 후 (post-exposure) 정렬을 정확하게 수행할 수 있으므로 정렬되지 않은 피쳐로 인해 발생할 수 있는 문제가 없어집니다. 또한 FPA 5000 ES 3 (FPA 5000 ES 3) 에는 강력한 이미지 주석이 포함되어 있어 웨이퍼에서 중요한 구조의 빠르고 정확한 위치와 측정이 가능합니다. 이 기능은 도량형에 이상적이며, 장애 분석 프로세스의 속도를 높일 수 있습니다. 또한 CANON FPA 5000 ES 3에는 자동 환경 모니터링 (automatic environmental monitoring) 및 정밀한 온도 조절과 같은 여러 가지 환경 제어 기능이 있으며, 이는 전체 웨이퍼 구성 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 웨이퍼 처리 조건을 보장하는 데 필수적입니다. 결국, FPA 5000ES3 (FPA 5000ES3) 은 모든 운영 환경에서 가장 까다롭고 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있는 기능과 기능을 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 광 기계 및 이미지 주석 기능을 통해 정확한 측정, 정렬 및 매핑을 보장할 수 있습니다. 또한, 종합적인 환경 제어 기능은 전체 웨이퍼 제작 프로세스 전반에 걸쳐 정확하고 균일 한 프로세스 조건을 보장합니다.