판매용 중고 CANON FPA 5000 ES2+ #9200129

CANON FPA 5000 ES2 + 웨이퍼 스테퍼는 고급 반도체 장치 제작을 위해 설계된 최첨단 리소그래피 솔루션입니다. ES2 시리즈 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 의 최신 발전이며 이미지 성능 및 생산성 향상을 제공합니다. 시험 중심 장비로서, CANON FPA-5000 ES2 + 는 사용자가 디바이스 구성 목표를 달성할 수 있도록 인상적인 기능으로 설계되었습니다. FPA 5000 ES2 + 의 스캐닝 단계는 시스템의 핵심이며 매우 정밀한 스캔 축 서보 드라이브 (Scan Axis Servo Drive) 를 갖추고 있어 각도 가속 및 속도가 매우 낮아 부드러운 동작을 보장합니다. 이는 오버레이 측정에서 뛰어난 오버레이 성능과 장기적인 안정성을 제공합니다. 이 장치에는 최대 17 인치 사각형의 영역이있는 넓은 FOV (Field-of-View) 기능이 있습니다. 초당 850 "미크론 '의 고속 스캔 속도 로 빠른 처리 속도 를 낼 수 있다. FPA-5000 ES2 + 의 옵틱은 고성능 및 안정성을 결합하도록 설계되었습니다. 0.8 äm에서 큰 초점 (DOF) 과 50mm에 이르는 고급 수치 조리개 (NA) 를 제공합니다. 또한 0.5 ° 기울기 각도에서 0.2%, 50 mW/cm2의 장기 안정성 (LTS) 으로 우수한 노출 균일성을 제공합니다. 기계를 완성하기 위해 CANON FPA 5000 ES2 + 에는 환경 조건에 영향을 미치지 않고 탁월한 광학 성능과 안정성을 제공하는 고급 Deuterium 및 Xenon 조명 소스가 장착되어 있습니다. 또한 디바이스 구성 중 정확한 샘플 정렬을 제공하는 자동화된 TOPSENCHECK AXIS 도구를 제공합니다. 또한 CANON FPA-5000 ES2 + 는 인상적인 성능 외에도 뛰어난 자산 유지 관리 및 문서 기능을 제공합니다. 여기에는 현미경 구성 요소를 보고, 모니터링하고, 제어할 수있는 절묘한 실시간 SmartScope API가 포함되어 있으며, 통합 SEM (Scanning Electron Microscopy) 소프트웨어 패키지는 프로세스 분석을 위해 단면 데이터를 보다 쉽게 보고 관찰할 수 있습니다. FPA 5000 ES2 + 는 고급 반도체 장치 제작을 위해 향상된 이미징, 성능, 유지 보수 기능을 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 최첨단 기술을 갖춘 FPA-5000 ES2 + 는 고해상도 이미징, 장기 안정성, 높은 처리량을 제공하는 가장 안정적인 Wafer 스테퍼 중 하나입니다.