판매용 중고 CANON FPA 5000 ES2 #9200128

CANON FPA 5000 ES2 웨이퍼 스테퍼는 정교한 이미징 장비입니다. 고해상도, 고정밀 패턴을 단일 웨이퍼로 전송하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 광학 소스, 투영 렌즈 시스템, 필드 렌즈 장치, 패턴 생성기의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. 광학 소스에는 고출력 램프, 확대 슬릿 및 픽셀, 소스 콘덴서가 있습니다. 투영 렌즈 머신 (projection lens machine) 은 catadioptric 도구에 배열 된 여러 렌즈를 사용하여 신뢰할 수있는 투영 이미지를 제공합니다. 필드 렌즈 자산은 2 개의 전동 Tilt Rotation Reciprocal Range (TRRR) 스테이지로 구성됩니다. 이 단계 (stage) 는 웨이퍼 서피스의 원통형 왜곡을 보완하여 전체 웨이퍼에 걸쳐 정확한 패턴 배치를 제공합니다. TTLI 패턴 생성기는 투영 렌즈 모델에 전송되는 이진 패턴을 생성합니다. 이 장비는 최대 해상도 0.34 äm, 패턴 크기 최대 22mm x 22mm를 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼와 함께, CANON은 또한 현장 정렬 및 등록 시스템, 저진동 환경 시스템, 자동 원격 작업 (automated remote operation) 과 같은 다른 액세서리 제품군을 제공합니다. FPA 5000 ES2 는 시장에서 사용할 수 있는 최고 수준의 정밀도와 정확도를 제공합니다. LED, 반도체, 반도체 상호 연결의 제작과 같은 다양한 응용 분야에 사용되었습니다. 연구 및 생산 실험실 모두에 이상적인 선택입니다.