판매용 중고 CANON FPA 5000 ES2+ #9182356
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CANON FPA 5000 ES2 + 는 높은 처리량, 높은 정확도 및 낮은 소유 비용을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 옵틱, 렌즈, 광학 요소가있는 대구경, 대형 프레임 크기 옵티컬 장비 (최첨단 정렬 및 노출 정밀도) 를 갖추고 있습니다. ES2 + 는 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System) 을 사용하여 배치의 정확성과 반복성을 보장하는 반면, 새로운 이미지 및 마스크 데이터 처리 기능은 웨이퍼 (Wafer) 생산의 뛰어난 유연성과 속도를 제공합니다. 또한, ES2 + 는 최대 850mm 크기의 프레임을 처리 할 수있는 온보드 로봇 공학이있는 다양한 기판을 제공합니다. CANON FPA-5000 ES2 + 에는 Superior Dynamic Focus (TM) 기술이 적용되어 있어, 가장 정확한 리소그래피 초점을 유지하면서 운영자 오류 발생을 방지할 수 있습니다. 또한 ES2 + 는 고급 다이 투 다이 (die-to-die) 관성 정렬과 노출 설정의 뛰어난 현장 최적화를 통해 복잡한 설계를 보다 효율적으로 패턴화할 수 있습니다. 온보드 데이터 처리 (On-board Data Handling) 및 품질 관리 프로세스 (Quality Control Process) 는 장치에서 나오는 이미지에 결함이 없도록 하고 사양에 정확히 부합하도록 합니다. ES2 + 는 상당히 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하며, 다양한 모드를 통해 사용자는 노출 설정 및 기타 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 특히, 사용자는 글로벌 (global), 로컬 (local) 또는 다이 (die) 기반 설정에 대한 미세 조정과 특정 다이 유형에 대한 석판 매개 변수 (대부분의 다른 웨이퍼 스테퍼에서는 사용할 수 없는 기능) 를 설정할 수 있습니다. 또한 FPA 5000 ES2 + 에는 처리량과 정확도를 향상시키는 여러 가지 다른 기능이 있습니다. 이 도구는 사용자 정의 가능한 로드/언로드 및 대체 프로세스 설정을 제공하여, 향상된 운영 처리량과 유연성을 제공합니다. 또한, 에셋은 패턴 정렬 정확도가 40nm 인 더 세밀한 해상도를 위해 확장 된 비트를 지원합니다. 마지막으로 ES2 + 는 다양한 CAD/CAM/CAE 시스템과의 호환성을 보장하기 위해 광, 자기 및 전기를 포함한 여러 데이터 형식과 호환됩니다. 요약하자면, FPA-5000 ES2 + 는 다양한 기판 재료 및 패턴을 위한 최적의 성능과 정확성을 제공하도록 설계된 다용도, 고출력 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 정렬 (Alignment), 노출 (Exposure) 및 데이터 처리 기능을 통해 ES2 + 는 비용 효율적인 패키지에서 높은 정확도를 필요로 하는 운영 프로세스에 이상적인 모델입니다.
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