판매용 중고 CANON FPA 5000 ES2 #293817781

CANON FPA 5000 ES2는 세계에서 가장 높은 정확도와 해상도를 자랑하는 초고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 장치의 서브 미크론 (sub-micron) 패턴을 가장 진보 된 기하학 및 설계에서 캡처 할 수 있습니다. FPA 5000 ES2에는 0.1 미크론 (30nm) 의 오버레이 정확도로 0.25um (90nm) 해상도의 정밀한 이미징을 가능하게하는 CANON 독점 UHRM (Ultra-High Resolution Photo Mapping Equipment) 이 장착되어 있습니다. 고급 광학 디자인 및 고급 고 리플 렌즈 코팅은 수차를 줄이고 반음계 및 lrfocus 왜곡을 효과적으로 수정합니다. 고출력 LED (High Power LED) 조명 시스템은 최적화된 웨이퍼 렌즈 및 프레임과 밀접하게 통합되어 정확한 노출 시간, 반복성, 최적의 이미징 결과를 보장합니다. 캐논 FPA 5000 ES2 (CANON FPA 5000 ES2) 에 사용되는 매우 정확하고 안정적인 선형 모터는 웨이퍼 스테이지의 매우 정확하고 반복 가능한 마이크로 이동과 노출 시간을 허용합니다. 모터 구동 웨이퍼 스테이지 (motor driven wafer stage) 는 0.02 미크론의 정확도에 맞춰져 있으며, 시간 경과에 따른 트랙의 변화에 관계없이 정확성과 성능을 보장하도록 자동으로 조정됩니다. 또한 FPA 5000 ES2는 장치 패턴의 특성을 인식하고 그에 맞게 노출을 최적화하는 CANON 고유 자체 학습 제어 장치를 통합합니다. 이 혁신적인 기계는 뛰어난 이미지 균일성과 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 반도체 장치 생산을 조정하기위한 고급 자동화 도구도 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 현재 공장 시스템 (factory system) 과 통합될 수 있으며, 운영 환경의 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 CANON FPA 5000 ES2는 가장 복잡한 반도체 장치 및 부품을 생산하는 데 이상적인 도구입니다. 고급 이미징 기능, 정밀 선형 모터 (Precision Linear Motor), 동작 제어 (Motion Control), 자동화된 생산 시스템을 통해 까다로운 시나리오에서 최적의 성능을 제공합니다.