판매용 중고 CANON FPA 5000 ES #9200127

CANON FPA 5000 ES는 제조업체가 반도체 장치를 정확하고 효율적으로 생산할 수 있도록 설계된 최첨단 리소그래픽 웨이퍼 스테퍼입니다. 5 마이크로미터 해상도를 통해 폭이 0.25 미크론까지 고해상도 라인/공간 기능을 생성 할 수 있습니다. 이는 대용량 및 고급 반도체 장치의 제작에 적합합니다. FPA 5000 ES의 외부 크기는 2710 x 1750 x 1625 mm이며 표준 필드 크기는 50.8 x 50.8 mm입니다. 스테퍼의 전원 공급 장치는 DC/AC300 전원 공급 장치 업그레이드 (옵션) 가 있는 업계 표준 AC100/AC200 전압 범위입니다. CANON FPA 5000 ES에는 전체 50.8mm 필드 영역을 커버하기 위해 0 °, 90 ° 및 277 ° 의 필드 각도를 사용하는 3 렌즈 디자인이 있습니다. 4.0 배의 광학 자화 (optical demagnization) 는 스테퍼에 가장 깊은 초점과 높은 이미지 높이 정확도를 제공합니다. FPA 5000 ES는 3 단계 원격 중심 조명 장비를 사용하여 플레어 (flare) 없이 석판 기능을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 조명은 풀 필드 영역 (full field area) 에 대한 강도와 균질성 측면에서 조정이 가능하며, 최적화된 석판화 패턴 (lithographic pattern) 의 생산을 촉진합니다. CANON FPA 5000 ES는 Multi-Projection 이미징 시스템을 통해 여러 필드 크기를 동시에 노출할 수 있으며, 현장간 노출을 매우 균일하게 유지할 수 있습니다. 석판 작업 (lithographic job) 에 따라 크기가 다른 필드를 다른 시간에 노출시킬 수도 있습니다. FPA 5000 ES에는 표준 기능 외에도 안경 석판화를위한 옵션 FPD 모듈 (Flat Panel Display) 이 있습니다. 이 모듈은 정확도가 높은 플랫 패턴 (flat pattern) 노출을 가능하게하며, 작고 예리한 구조로 반도체 장치를 제작할 수 있습니다. CANON FPA 5000 ES는 여러 리소그래피 시스템과의 뛰어난 해상도와 호환성으로 구별되는 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 에너지 절약 작동 모드, 고급 조명 장치 (Advanced Illumination Unit) 및 다중 투영 이미징 머신 (Multi-Projection Imaging Machine) 은 대용량, 고품질 반도체 장치 생산을위한 뛰어난 도구입니다.