판매용 중고 CANON FPA 3000 #9384377

CANON FPA 3000은 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계 는 현미경적 으로 소형 "칩 '과 광학" 필름' 및 "포토마스크 '생산 을 위하여 반도체 산업 에 널리 사용 되고 있다. 최대 450mm 직경의 웨이퍼를 최대 375mm (노출 면적) 까지 처리 할 수 있습니다. CANON FPA-3000에는 독점 크리스탈린 미러 시스템 (crystalline mirror system) 과 광학 열차를 사용하는 고급 이미징 장비가 장착되어 있습니다. 따라서 이미징 프로세스가 정확하고 정확합니다. 또한 고정밀 모터를 사용하여 초점 렌즈와 거울을 움직이며, 정확도가 높아집니다. 이 기계는 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 여기에는 에칭, 포토 esist 코팅, 이미징 및 비전 검사가 포함됩니다. 또한 다중 노출 리소그래피 프로세스가 가능합니다. 이 기계는 또한 여러 유형의 패턴 이미지를 인식하는 기능을 갖추고 있으며, 서브 미크론 (sub-micron) 과 나노 (nano) 이미징을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 독점 소프트웨어 프로그램을 사용하여 각 프로세스와 관련된 노출, 정렬, 분석, 보고 작업을 제어합니다. 장비 매개변수 (equipment parameter) 에 액세스하여 모든 프로세스를 정확하게 제어할 수도 있습니다. 또한 소프트웨어 (예: 클리닝, 조정, 예방 유지 보수) 를 사용하여 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 FPA 3000은 향상된 안전 및 환경 보호 기능을 제공합니다. 인력과 장비의 안전을 보장하기 위해 화재 진압기 (Fire Suppression Machine), 비상 종결 (Emergency Shutdown), 고전압 테스트 도구 (High-Voltage Testing Tool) 와 같은 내장 안전 기능이 장착 될 수 있습니다. 또한 유해 물질 배출을 줄이기 위해 온도 조절 드라이 에칭 에셋이 특징입니다. 전반적으로, FPA-3000은 최적의 성능을 위해 설계된 고급형 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 이며, 석판 공정에 반도체 산업에서 사용됩니다. 더욱 향상된 정확성과 안전성과 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다 (영문). 이것은 현미경적으로 작은 전자 부품의 제조에 이상적인 선택입니다.