판매용 중고 CANON FPA 3000 #9145281

CANON FPA 3000 은 다양한 생산 요구를 처리할 수 있는 고성능, 다기능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 처리량을 높이고, 제조 비용을 절감하는 한편, 높은 수준의 정확성과 정확도를 유지하도록 설계되었습니다. CANON FPA-3000은 기본 구성 요소가 단일 프레임으로 조립된 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 첨단 렌즈 시스템과 4 단계 회절 헤드 (diffractive head) 어셈블리를 활용하여 탁월한 수준의 광학 성능을 제공합니다. 이 장치는 격자 기반 패턴 (lattice-based patterning) 이 가능하며 해상도와 정확도를 더욱 향상시키기 위해 오프 축 조명을 제공 할 수도 있습니다. 이를 통해 이론적으로 무제한적인 수의 피쳐를 유연한 기판으로 패턴화할 수 있습니다. 스테퍼는 125mm ~ 650mm 범위의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 최대 정확도는 0.1 미크론이며 속도는 시간당 최대 65 웨이퍼입니다. 스테퍼는 14 미크론 스텝/반복 정확도로 정확한 석판 촬영이 가능합니다. 이는 신뢰할 수 있는 해상도 3 미크론, 활성 면적 1.9 mm x 1.9 mm의 통합 정렬 머신에서 지원됩니다. FPA 3000 에는 로터리 스테이지 내장, 프로그래밍 가능한 레티클 슬라이드, CCD 기반 정렬 툴 등 고급 기능이 완벽하게 보완되어 있습니다. FPA-3000은 안정성이 높고 견고하도록 설계되었습니다. 이 제품은 긴 수명의 LED 광원 (LED Light Source), 고급 공기 플러싱 (Air Flushing) 및 주요 구성 요소의 서비스 수명을 줄이고 가동 중지 시간을 연장하도록 설계된 기타 기능을 갖추고 있습니다. 또한 내부 구성 요소를 모든 오염 물질로부터 보호하고 성능 최적화를 위해 클린 룸 호환 엔클로저 (cleanroom-compatible enclosure) 를 중심으로 설계되었습니다. 통합 컨트롤러는 CANON FPA 3000 의 정확한 작동을 지원하므로, 빠르고 간편한 작동을 위해 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 또한 컨트롤러는 로깅 및 진단 기능을 제공하며, 원격 작업을 수행할 수 있습니다. 요약하면, CANON FPA-3000은 광범위한 생산 요구를 수용하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 "렌즈 '자산, 고도 의 정확도, 견고 한 구조 로 인하여 정밀 한 석판화 와 생산성 증대 를 위한 훌륭 한 선택 을 할 수 있다.