판매용 중고 CANON FPA 3000 #9145280

CANON FPA 3000은 반도체 제조를위한 고정밀 패턴을 만들도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 처리량, 정밀 정렬, 강력한 이미징 기술을 갖춘 CANON FPA-3000 은 모든 반도체 생산에 이상적인 툴입니다. FPA 3000은 ABA (Automated Beam Alignment) 기술을 통해 탁월한 오버헤드 뷰 광학 이미지를 제공합니다. 이 장비는 독점 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 스캐너를 안내하여 처리량 (throughput) 이 향상되고 마스크 배치 (mask placement) 가 정확합니다. ABA는 또한 풀 필드 자동 초점 시스템 (AF) 을 통해 자동 초점을 제공합니다. 이 장치는 초점 평면 변화를 최소화하여 초점 이동 (focus shift) 을 크게 줄여 고급 반도체 장치의 화질을 저하시킬 수 있습니다. FPA-3000에는 자동 교정기 (ACS) 도 장착되어 있습니다. ACS는 3 차원 나노 로빙 센서를 사용하여 위치 및 명암과 같은 이미징 매개 변수를 정확하게 제어합니다. 이렇게 하면 매우 균일한 노출을 가능하게 하며, 여러 레이어에서 이미지 품질을 유지할 수 있습니다. 또한 렌즈 수차로 인한 고주파 정렬 오류 (high-frequency alignment error) 및 고대비 이미징 요구가 있는 레이어에 맞게 동적 주파수 변경 (dynamic frequency change) 을 수정할 수 있습니다. CANON FPA 3000에는 고해상도 CHCM (Color Corrected Super High Contrast Mask) 기능도 있습니다. CHCM은 특수 마스크 기술을 활용하여 선반 거칠기 (line-edge roughness) 를 현저히 줄이고, 고도의 반도체 구조에도 높은 정밀 이미지를 유지합니다. 또한, CANON FPA-3000은 에칭 된 물질을 기반으로 광원의 강도를 튜닝 할 수있는 ODCM (Optical Density Control Mechanism) 으로 무장합니다. 이것은 매우 균일한 패턴 깊이를 만들어내며, 고수율, 고성능 이미지에 기여합니다. 마지막으로, FPA 3000 은 상세한 온라인 기술 지원을 통해 사용자가 기능을 최대한 활용할 수 있도록 지원합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 여러 기능에 쉽게 액세스할 수 있으며, 시스템을 설치하고 실행하는 프로세스를 단순화합니다. 전반적으로 FPA-3000은 강력한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 속도와 용이성으로 정교하고 정확한 석판 패턴을 만들 수 있습니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 자동 초점 (Auto-focus) 기능을 통해 고급 반도체 제작을 위한 까다로운 고급 이미징 성능에 이상적인 선택이 가능합니다.