판매용 중고 CANON FPA 3000 #9145279

CANON FPA 3000은 실리콘 웨이퍼의 매우 정밀한 리소그래피를 위해 설계된 CANON Inc.의 웨이퍼 스테퍼 장치입니다. 엄청나게 정확한 조명 장비, 고급 정렬 및 정밀한 동요 시스템, 독점 소프트웨어 장치 (Software Unit) 가 특징입니다. 이 고급 웨이퍼 스테퍼 (advanced wafer stepper) 는 최소 설치 공간과 최소 비용으로 최고 품질의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. CANON FPA-3000은 6축 X/Y/Z/z/z/F 아키텍처 머신이 최적화되어 변위 해상도가 0.1 µm로 매우 정확한 결과를 생성합니다. 스테퍼는 또한 고유한 독점 진동 방지 도구 (anti-vbration tool) 를 갖추고 있어 매우 높은 정확도를 보장합니다. 따라서 TCO (총소유비용) 를 절감하면서 성능 향상을 실현할 수 있습니다. 광학 자산의 측면에서 FPA 3000은 고급 유형의 레이저, 광학 복제본 생성기 (optical replica generator) 및 독특한 대체 레티클 (reticle) 을 갖추고 있습니다. 이 기능의 조합은 thestepper가 마스크를 기판에 정확하게 정렬 할 수 있도록 합니다. 또한, 젠록 모델은 큰 입자, 얇은 기판 및 기타 복잡한 표면에서 작동 할 때에도 매우 정확한 광학 결과를 제공합니다. 정밀 교반 장비의 관점에서 볼 때, FPA-3000 (FPA-3000) 은 전자 및 음향 교반을 결합한 하이브리드 시스템 (hybrid system) 을 특징으로하여 결과 웨이퍼가 항상 완벽하게 정렬되도록 보장합니다. 또한, 스테퍼에는 빠르고 정밀한 정렬을 제공하는 데 사용되는 특수 고성능 정렬 도구가 있습니다. 또한 CANON FPA 3000 에는 디바이스의 효율성을 보장하는 특수 소프트웨어 유닛이 있습니다. 가장 효율적인 웨이퍼 크기와 레이아웃 패턴 조합을 인식하도록 설계되었습니다. 따라서 설치 비용을 절감하고, 주기 시간을 단축하고, 다운타임을 줄일 수 있습니다. CANON FPA-3000은 뛰어난 결과를 낼 수있는 진정한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 안정적이고, 효율적이며, 정확하고, 신뢰할 수 있도록 엄격한 테스트를 거쳤습니다. 최소한의 비용으로 최고 품질의 웨이퍼 (wafer) 를 생산하는 데 이상적인 도구입니다.