판매용 중고 CANON FPA 3000 #293828112

CANON FPA 3000은 고급 IC 검사 및 리소그래피를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 처리량 향상, 정확도 향상, 진동 감소를 위해 설계된 이중 단계, 고정밀 전동 레티클 스테이지 (reticle stage) 가 장착되어 있습니다. CANON FPA-3000의 고성능 광학 장비는 코마, 필드 곡률, 반음계 수차, 왜곡 등의 수차를 수정하여 이미지 성능 및 인쇄 정확도를 높일 수 있도록 6 렌즈 디자인을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 내장 자동 정렬기를 사용하여 다이 피쳐를 감지하고 웨이퍼를 정렬합니다. 정렬기는 1/4 미크론 해상도만큼 작은 기능을 감지 할 수 있으며, 자동 정렬 기능을 사용하여 웨이퍼를 최대 50 nm (50 nm) 의 정확도로 정렬 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 웨이퍼 표면의 정확한 추적을 보장하기 위해 내장 오버레이 시스템을 갖추고 있습니다. FPA 3000 은 웨이퍼 크기에 따라, 샷 당 최대 6 개의 타겟을 인쇄할 수 있습니다. 인쇄 해상도는 10 nm 정도이며, 스테퍼에는 일관된 노출 강도를 유지하고 최적의 정렬 성능을 보장하도록 설계된 파장 튜닝 가능한 레이저 다이오드 (wavelength-tunable laser diode) 가 장착되어 있습니다. 진동을 줄이기 위해 FPA-3000에는 댐프 진동 테이블 (damped-vbration table) 과 통합 격리 장치 (integrated isolation unit) 가 장착되어 있습니다. 이 표는 최대 0.2 Hz 의 진동을 감축하도록 설계되었으며, 격리기는 장비 수준 진동을 최대 90% 까지 줄였습니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 특허를받은 초저가 F 값 -3 오브젝티브 렌즈를 특징으로하며, 내부 렌즈 반사로 인한 수차를 최소화하여 정밀도를 향상시킵니다. CANON FPA 3000은 깊은 자외선 (DUV) 에서 보이는 (VIS) 까지 다양한 노출 파장으로 인쇄 할 수 있습니다. 정확한 노출 측정 및 제어를 위해 내장 레이저 파워미터가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 또한 임계 치수 (CD) 측정, 결함 검토, 패턴 분석, 석판 후 이미지 분석 알고리즘 라이브러리 등 여러 내장 검사 응용 프로그램이 포함되어 있습니다. 전반적으로 CANON FPA-3000 웨이퍼 스테퍼는 강력한 리소그래피 머신으로 고급 IC 검사 및 리소그래피에 사용할 수 있습니다. 고급 기능으로는 이중 단계, 고정밀 동력 레티클 스테이지, 최적화 된 인쇄 정확도를 위한 자동 정렬, 파장 조정 가능한 레이저 다이오드 및 여러 내장 검사 응용 프로그램이 있습니다. FPA 3000 은 정확한 인쇄 결과를 얻을 수 있도록 설계되었으며, 내장형 레이저 powermeter 는 정확한 노출 제어를 보장합니다.