판매용 중고 CANON FPA 3000 iW #9311331

ID: 9311331
빈티지: 1997
Stepper, parts system 1997 vintage.
CANON FPA 3000 iW는 매우 정확한 노출 및 포토 마스크 생산에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 레이저 스캔, 레이저 다이오드 (laser-diode) 장비를 사용하여 얇은 웨이퍼에 고해상도 이미지를 만드는 마이크로 리토 그래피를위한 고급 도구입니다. CANON FPA 3000IW는 반도체 장치 및 기타 고급 장치를 만드는 데 적합합니다. FPA-3000IW 는 매우 정확하고 안정적인 노출 시스템을 갖춘 고급 마이크로 머치닝 (micromachining) 을 위한 포괄적인 기능을 제공합니다. 스테퍼에는 고급 레이저 다이오드, 레이저 스캔 장치가 포함되어 있어 왜곡이 최소화되어 고해상도 이미지를 만들 수 있습니다. 이 레이저 스캔 기계는 다양한 마스크 디자인으로 작고 2 차원 기능을 스캔 할 수 있습니다. 이 장치는 매우 정확한 오버레이 (overlay) 등록이 가능하므로 씬 웨이퍼 (thin wafer) 에 패턴을 정확하게 등록할 수 있습니다. FPA 3000IW는 고급 IAE (Iris Auto Exposure) 및 DRI (Dual Resolution Imaging) 기술을 통해 최적화된 이미징을 제공합니다. IAE 기술을 통해 사용자는 매우 미세한 패턴의 노출 시간을 정확하게 예측할 수 있으며, DRI 기술을 사용하면 다른 디자인에 대한 노출 시간 (exposure time) 을 최적화하여 더 높은 수율을 얻을 수 있습니다. FPA-3000 IW에는 이미지 품질을 쉽게 사용자 정의할 수 있도록 Contact, Proximity 및 Scanning Photolithography 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 고속 스테퍼 작동을 지원하여 칩 및 웨이퍼 생산의 처리량을 향상시킵니다. 또한, 이 장치는 맞춤형 객관적인 비전 도구 (Objective Vision Tool) 를 갖추고 있어 패턴 점검 및 결함 탐지가 용이합니다. CANON FPA 3000 I W는 또한 PCS (Pulse Correction Asset), ATBE (Adjustable Timer-Based Exposure) 및 CAS (Contrast Adjustment Model) 를 포함한 다양한 성능 향상 기능을 제공합니다. PCS는 여러 노출 패턴으로 매우 미세한 이미지의 노출을 더욱 개선하는 데 도움이됩니다. 또한, ATBE 를 사용하면 CAS 장비를 사용하여 이미지 품질을 조정할 수 있는 반면, CAS 는 노출 시간을 제어할 수 있습니다. CANON FPA-3000IW는 고급 웨이퍼 생산, 회로 생산, 기타 마이크로 머키닝 (micromachining) 응용 프로그램 등 다양한 응용 프로그램에 사용할 수있는 매우 다양한 도구입니다. 안정적이고 정확한 노출 시스템과 결합된 고급 기능과 기능을 갖춘 CANON FPA-3000 IW (CANON FPA-3000 IW) 는 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리에 이상적인 선택입니다.
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