판매용 중고 CANON FPA 3000 iW #293606922

CANON FPA 3000 iW는 포토 마스크 제작 및 검사를 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 전체 광학 장비의 스캐닝 움직임을 제어하는 로봇 암 인 와퍼 스테퍼 (WaferStepper) ™ 가 장착되어 있습니다. CANON FPA 3000IW는 질소로 채워진 LCCI (Low Cross-Coherence Interferometry) 기술을 포함한 고급 광학을 사용하여 뛰어난 이미징 성능과 샘플 간 균일성을 제공합니다. 이 간섭계 (interferometric system) 는 샘플에 안정적인 배경, 정확한 초점 및 최적의 조명을 제공합니다. 이 장치에는 Argon-Ion 레이저와 할로겐 램프 (Halogen lamp) 의 두 가지 광원과 이미지 회전 기계가있는 10 배 현미경과 자동 확대/축소 줌 렌즈가 포함 된 광학 패키지가 있습니다. 또한 FPA-3000IW 는 지능형 이미징 및 측정 소프트웨어로, 반복 가능한 결과, 프로세스 검증을 위한 문서 자동 생성, 광 마스크의 마이크로피처에 대한 신속한 실시간 평가를 제공합니다. 이것은 CAD 설계에 직접 연결되고 마스크 레이아웃 편집기에 출력되는 통합 통신 인터페이스 (Integrated Communication Interface) 에 의해 보완됩니다. CANON FPA 3000 I W는 전자 빔 직접 쓰기 마스크, 전자 빔 리소그래피 마스크 및 박막 STL 마스크의 초소형 기능을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있으며, 대부분의 표준 마스크 레이아웃과 호환됩니다. 통합 필터 휠 (filter wheel) 및 자동 초점 기능을 통해 고급 마스크 기능을 위한 견고하고 안정적인 이미징 플랫폼이 됩니다. 캐논 FPA-3000 IW (CANON FPA-3000 IW) 는 높은 처리량 및 서브 마이크론 해상도와 결함을 감지하는 기능이 결합 된 생산 환경에 이상적인 작업입니다. 빠른 이미징, 처리 시간, 사용이 간편한 자동화 기능을 갖춘 CANON FPA-3000IW는 마스크 제작 및 반도체 생산 분야에 적합합니다.