판매용 중고 CANON FPA 3000 iW #155018
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판매
ID: 155018
Wafer stepper
Configuration:
Main Unit: FPA-3000
Illuminator: FPA-3000 I line
(2) A Scope (left and right): i-line, TTL
Reticle Stage: 6", Canon STD
(2) Reticle Sender (switching): Canon STD
U-Lens
B Scope: OFF-Axis
C Scope: OFF-Axis
Laser Head: Zygo, HeNe
CCD OPTF
OA Scope: OFF-Axis
Wafer Stage: Flat Stage
(3) Θ/Z-Tilt Unit (L, M, R): Piezo
(4) Support Mount: Passive Damper
Filter (XY Stage): HEPA
Reticle Changer
Reticle Robot: Type IV
Cassette Robot: Type IV
(14) Cassette Library: Canon STD
(4) Intermediate Library: Canon STD
PPC
Wafer Feeder: Type-VI-R
SCH: Type-VI
PA Unit: 8", Notch
SH: Type-VI-R
Lamp house, 2KW
EWS HP-9000 (712/100)
UPS
CD-80 chamber
(5) HEPA ceiling filter (air)
Power receive box, 3 phase, 200VAC
D-rack: Canon STD
Currently in a warehouse
Can be inspected.
CANON FPA 3000 iW는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치의 고유한 설계를 통해 프로덕션 라인에서 개별 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 정렬하여 웨이퍼 프로세싱의 최적의 수익률과 정확성을 보장합니다. "캐논 'FPA 3000IW 에는" 웨이퍼' 를 정확 히 위치 하고 조정 하기 위하여 "서보 모터 '장치 를 사용 하는 독특 한 수송 장비 가 갖추어져 있다. 이 장치는 프로덕션 라인을 통해 사용자 지정 경로 (customized path through the production line) 를 만드는 데 사용할 수 있으므로 고품질 생산이 가능합니다. 이 장치는 사이클 당 최대 24 개의 웨이퍼가 가능하며, 하중 용량은 웨이퍼 당 최대 500 파운드입니다. FPA-3000IW는 고급 Opto-Laser 정렬 시스템을 사용하여 각 웨이퍼의 방향을 정확하게 감지하고 식별합니다. 이 기술을 서보 모터 도구 (servo motor tool) 와 결합하여, 이 장치는 웨이퍼를 정확도가 높아진 상태로 정확하게 재배치할 수 있습니다. 에셋은 또한 웨이퍼 (wafer) 표면에서 오열과 사소한 불규칙성을 감지할 수 있으며, 연약한 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 때 정밀성과 무결성을 높일 수 있습니다. 이 장치의 독특한 광학 전송 모델은 생산 운영을 더욱 최적화합니다. 또한 빠른 추적 (fast-tracking) 기술을 통해 운영 용량을 향상시켜 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. FPA 3000IW에는 웨이퍼 생산 성능을 최적화하는 몇 가지 추가 구성 요소가 있습니다. 이 장치에는 안정성 및 정확성 향상을 위해 공압적으로 작동하는 X-Y Wafer Chuck이 장착되어 있습니다. 정밀 공기 베어링 스테이지는 처리 중 웨이퍼의 정확한 이동을 허용합니다. 또한, 이 장치에는 다이렉트 드라이브 고속 팬이 사용할 수 있는 온도 조절 환경이 있습니다. 온도 조절 환경은 웨이퍼 오염 및 열 왜곡을 줄이는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 검사 (wafer inspection), 교정 (calibration) 및 에칭 시스템 (etching system) 과 같은 다른 고급 기능은 각 웨이퍼가 최고 표준으로 처리되는지 확인합니다. FPA-3000 IW 는 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리가 필요한 생산 라인에 이상적인 강력하고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 정렬 (Alignment), 광학 수송 (Optical Transport) 및 온도 조절 (Temperature Control) 기술을 활용하여 일관되고 정확하게 생산 품질 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 고속 성능, 빠른 추적 장비, 다양한 센서와 액세서리를 갖춘 CANON FPA-3000IW는 정확하고, 안정적이며, 고품질 웨이퍼 프로세싱이 필요한 모든 작업에 이상적인 솔루션입니다.
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