판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #9296955

CANON FPA 3000 i5 + 는 매우 정확한 방식으로 최대 300mm 웨이퍼를 노출하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 응용 분야 36mm의 200mm LOC (Lens-on-Chip) 모듈을 갖추고 있으며 5 나노 미터 해상도에서 고정밀 노출을 제공합니다. 스테퍼는 LED, MEMS 및 기타 광전자 응용 프로그램을 포함하여 6 인치에서 300mm 사이의 광범위한 생산을 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 정렬에 대한 서브 미크론 정확도를 제공하는 3 단계 장비 정렬 자동 초점 메커니즘이 장착되어 있습니다. 또한, 내부 노출 모니터 (internal exposure monitor) 는 각 노출 샷에서 노출 값을 기록하여 시스템 성능을 추적하는 안정적인 수단을 제공합니다. 레이저 간섭계 빔 정렬 장치를 갖춘 CANON FPA 3000I5 + 는 각 노출 샷을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 필드당 여러 개의 다이 (die) 를 효율적으로 정렬 할 수있는 센서가 없는 정렬 머신이 있습니다. 또한 이 도구는 또는 트렌치 정렬 기능을 통한 드릴링 기능도 제공합니다. 전반적으로 FPA-3000 I5 + 는 노출의 성능, 정확성 및 신뢰성을 향상시킵니다. 스테퍼는 또한 광학 및 전기 유지 보수를위한 다양한 옵션을 제공합니다. 여기에는 램프 제어 보드, 냉장고 보드, 피드백 앰프 보드, 전원 공급 장치 보드, 냉각수 분배 보드 및 셔터 제어 보드가 포함됩니다. 이러한 옵션 외에도, 자산은 노출 및 처리로 인한 '웨이퍼' (wafer) 를 손상으로부터 보호하도록 설계되었습니다. 이는 피드백 메커니즘 (feedback mechanism) 과 과다 투약 보호기 (over-dosing protector) 를 사용한 과다 노출 제어 및 오류 감지 메커니즘을 사용하여 수행됩니다. FPA 3000 I5 + + 는 유지 관리를 최소화하여 설계되었으며, 웨이퍼 스테퍼에 일반적으로 필요한 25 ~ 45 개 부품과 비교하여, 암 당 총 18 개 부품만 제공합니다. 게다가, 스테퍼는 TCO (총소유비용) 가 낮고, 장기적 성능에 대한 명성이 높습니다. 정밀 광학으로 유명한 캐논 (CANON) 은 업계 최고의 3 미크론 이하의 정렬 정확도와 시간당 평균 166 개의 웨이퍼를 자랑하는 생산 모델을 개발했습니다. 전반적으로 CANON FPA 3000 I5 + + 는 신뢰성이 높고 정확한 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 광전자 생산 응용 프로그램을위한 고품질 웨이퍼를 생산하도록 설계되었습니다. FPA 3000 i5 + 는 강력한 설계, 성능 향상 시스템, 옵션과 TCO (총소유비용) 를 자랑하는 FPA 3000 i5 + 는 운영 요구 사항을 충족하는 안정적이고 정확한 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다.