판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #9296953

CANON FPA 3000 i5
ID: 9296953
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
i-Line stepper, 8" 1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5는 반도체 장치 제조에서 photolithography 프로세스에 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 캐논 (CANON) 독점 디자인은 시장에서 사용할 수있는 가장 높은 NA 및 초점 깊이와 페어링 된 고급 정렬 기 (aligner) 구조를 포함합니다. 이를 통해 CANON FPA 3000I5는 오늘날 생산되는 웨이퍼 스테퍼의 시간당 최고 인쇄 값을 달성 할 수 있습니다. 전체 장비는 진동을 최소화하기 위해 견고한 알루미늄 바디 (aluminum body) 내에 보관되는 반면, 온도 조절 환경은 항상 OEM 지정 매개변수 내에서 작동하도록 보장합니다. FPA-3000 I5 는 CANON 전용 Zoom Optics 를 통해 시스템에서 투사하는 이미지를 확대하거나 줄일 수 있습니다. 이를 통해 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 또한 마스크와 웨이퍼 사이의 정확한 정렬을 보장하는 CANON DMCA (Diagonal Mask Compensation Autofocus) 장치를 갖추고 있습니다. 또한 CANON FPA-3000 I5 에는 강력한 이미징 센서와 컨트롤러 세트가 포함되어 있어 성능을 극대화하고 복잡성을 줄일 수 있습니다. 고급 이미징 머신에는 정확한 오버레이 정렬을위한 2k RGB 카메라와 포토 마스크 이미징을위한 디지털 하프톤 이미지 센서 (digital halftone image sensor) 가 포함되어 있습니다. 컨트롤러는 5세대 Intel i5 프로세서로 구동되므로 빠른 성능을 제공합니다. FPA 3000I5의 교정 모듈 (Calibration Module) 을 사용하면 여러 작업에 대한 여러 교정 및 설정을 관리할 수 있습니다. 마스크 이미징을 위한 다양한 셔터 속도 (shutter speed) 와 조절 가능한 다이어프램 설정 (diaphragm settings) 등 다양한 노출 제어 옵션을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 노출 프로세스를 사용자 정의하고 성능을 최적화할 수 있습니다. FPA 3000 i5 는 CANON 소프트웨어 제품군과 원활하게 연동하여 기존 석판화 프로세스에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 공구를 쉽게 설정하고 제어할 수 있으며, 고급 기능을 통해 복잡한 자동 노출 시퀀스 (automated exposure sequence) 를 만들 수 있습니다. 또한 내장형 LCD 디스플레이를 통해 자산 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 캐논 (CANON) FPA 3000 i5는 모든 반도체 생산 시설에 이상적인 선택으로, 시장이 제공해야 할 가장 높은 NA 및 초점 깊이를 제공합니다. 탁월한 이미징/자동화 기능을 제공하여 최소한의 노력과 설정 (setup) 을 통해 성능을 극대화할 수 있습니다. 견고한 디자인과 고급 기능을 갖춘 CANON FPA 3000I5 는 강력한 성능과 사용 편이성을 제공하므로 모든 사진 촬영 (photolithography) 프로세스를 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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