판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #9280839

CANON FPA 3000 i5 + 는 최첨단 리소그래피 어플리케이션을 위해 설계된 고속 소형 리소그래피 장비입니다. 이 시스템의 2 단계 광학 디자인은 높은 NA, 대형 필드 렌즈를 사용하여 2 배 또는 6 배 레티클의 최고 해상도, 최소 기능 크기 및 최고 처리량을 달성합니다. 5.5mm 크기의 필드 사이즈를 제공하는 이 견고한 유닛은 CANON 최첨단 옵토 기계식 장치 (opto-mechanical unit) 설계를 기반으로 하여 안정적이고 안정적인 작동과 폭넓은 노출 범위를 제공합니다. 그리고 고급 비행 기계, 정렬 및 측정 기능으로, 이 도구는 더 쉬운 유지 관리 및 운영을 제공합니다. CANON FPA 3000I5 + 는 세계 최고의 반도체 제조업체에서 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 300mm 리소그래피 (lithography) 에서 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 고급 용량 제어 및 측정 방법과 결합 된 업계에서 가장 높은 해상도의 프로젝션 광학을 특징으로합니다. 고정밀 optics 장치는 고급 스캔 노출을 위한 뛰어난 해상도와 노출 충실도를 제공합니다. CANON 고유 비대칭 수정 기술은 오버레이 정확도를 최적화하고 작은 먹이 오류 속도를 줄이는 데 도움이됩니다. 에어베어링 (air-bearing) 설계는 매우 정확한 포지셔닝 및 안정적인 작동을 제공하여 처리 안정성과 생산성을 향상시킵니다. 고급 X-Y 스테이지 설계는 닫힌 루프 위치 정확도와 속도/가속 제어를 특징으로합니다. 또한 FPA-3000 I5 + 에는 다중 주파수 정렬 측정, 스캐닝 스캐닝 스캐닝, 전용 노출 제어 기술 등 다양한 표준 기능과 옵션이 있습니다. 전반적으로 FPA 3000I5 + 는 300mm 리소그래피의 응용 프로그램에 이상적인 자산입니다. 강력한 디자인, 고정밀 (high-precision) 옵틱, 고급 노출 제어 기능을 통해 소형 리소그래피 (small-field lithography) 에 적합하므로 총소비용 (total cost) 이 가장 낮은 해상도와 처리량을 얻을 수 있습니다. 종합적이고 신뢰성 있는 성능과 결합된 지능형 디자인 (Intelligent Design with Comprehensive Performance) 을 통해 이 모델은 첨단 기술과 성능을 원하는 모든 사람에게 적합한 선택이 됩니다.