판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #9194604
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ID: 9194604
빈티지: 1996
i-Line stepper
Console:
EWS: 715/100
Built in console: X-terminal
Auto feeder, 8"
Type 6: Right
PA Type: Flat
Inline
Edge exposure (EBR)
Reticle size, 6"
(14) Library slots
Cassette type: CANON
Option:
BCR: No
CBR: No
PPC,RPC: No
Wafer stage:
Type: Flat
Laser interfermeter: Zygo (No)
Chuck type: 2-Layer pin
Maintenance kit: No
Active mount
Illuminatior: 2kW
Clean chamber:
RASCO /TBW-CD-82
C-Oil level : Normal
UPS: No
Stepper: 3P, 200V, 33kVA
Missing parts:
D-Rack
PCB, P/S
1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5는 가장 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최첨단 머신은 IRIM (Improved Resolution Image Metrology) 이라는 독특한 혁신적인 기술을 사용하여 다른 웨이퍼 스테퍼에 비해 광학 성능이 25% 향상되었습니다. 가장 정확한 검사 및 검사 결과를 제공하는 엄청나게 높은 해상도의 이미징 (imaging) 장비를 갖추고 있습니다. CANON FPA 3000I5는 고출력 5kW 다이오드 레이저를 사용하여 웨이퍼 표면의 이미지를 생성하며, 이 레이저는 5 미크론의 해상도로 스캔 할 수 있습니다. IRIM 시스템은 레이저 간섭계 (laser interferometer) 를 사용하여 웨이퍼의 표면 프로파일을 측정하고, 1 미크론 깊이에서 프로파일을 정확하게 측정합니다. 이것은 회절 광학 요소 (DOE) 를 사용하여 이미지를 4 개의 섹션으로 나누고, 이어서 IRIM 유닛에 의해 최고 정밀도로 분석 될 수있다. 기계는 또한 자동 초점 (auto-focus) 옵션을 사용하여 검사의 최고 정확도를 보장합니다. FPA-3000 I5 는 업계 최고의 정밀도 정렬 (precision alignment) 툴로 모든 방향에서 정확성을 제공하여 최고 수준의 검사 결과를 보장합니다. 에셋에는 고속 회전 스테이지가 장착되어 있어 정렬이 1 미크론 (1 미크론) 이내와 일치하고 1.1 미크론 (1.1 미크론) 의 정확성을 유지합니다. 또한 최대 12 축까지 주행할 수 있는 고정밀 (High-Precision) 드라이브 모델이 포함되어 있어 반도체 업계에서 최고 품질의 웨이퍼 (Wafer) 정렬을 제공합니다. 이 장비에는 또한 특허를받은 입자 분석을위한 USB 기반 시스템, 첨단 공기 역학적 균형, 작은 입자 제거를위한 강력한 트위저 장치 (Tweezer Device) 와 같은 다양한 고급 측정 도구가 포함됩니다. 실시간 데이터 수집 장치 (Real-Time Data Collection Unit) 를 사용하면 지속적인 데이터 및 그래프 분석 기능을 통해 Wafer 상태와 성능을 파악할 수 있습니다. 캐논 FPA-3000 I5 (CANON FPA-3000 I5) 는 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 스테퍼 중 하나이며, 인상적인 수준의 정확성과 검사 결과를 제공합니다. 이 기계는 광학 성능이 25% 향상되어 오늘날의 복잡한 반도체 (semiconductor) 프로세스에 가장 적합한 정밀도를 제공합니다. 반도체 (반도체) 기업들이 최고 수준의 정확성과 결과를 찾는 데 귀중한 도구다.
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