판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #9068403
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ID: 9068403
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
Fine pattern aligner, 8"
Reticle: 6"
RtL with ACT8 1.5BL (SG 24786)
Console:
HP 715
X-terminal
Auto feeder:
A/F type: Type-VI-L
W/F size: 6" flat
Inline: Yes
Edge exposure: No
Reticle changer: 6"
Library slot no: 12
Option: PPC
Cassette type: Nikon
Wafer stage:
Flat type
Laser interferometer: Zygo 3-axis
Chuck: 6" pin
Illuminator: i-Line Hg lamp
Clean chamber:
Rasco TBW-CD-83
Image rack:
No Part No Description
1 BG4-6632 TV Image CPU PCB
2 BG4-9715 ADP-2 PCB
3 BG9-4084 ACC-1 PCB
4 BG9-4085 ACC-2 PCB
5 BG9-3501 IMP2 PCB
6 BG4-6582 HRD Processing PCB
VME rack:
No Part No Description
9 BG4-6628 CAM UNIT
10 BG3-2462 Main CPU PCB
11 SPARE
12 SPARE
13 BG4-6631 CDIF PCB
14 BG4-6629 Stage CPU PCB
15 SPARE
16 BG4-9217 DSP
17 SPARE
18 BG4-6465 Measurement PCB (X)
19 BG4-6466 Measurement PCB (Y)
20 BG4-6467 Measurement PCB (Θ)
21 SPARE
22 BG4-9175 MLE IF PCB
23 BG4-9191 XY PRE2 PCB
24 BG4-6459 OFCD IF PCB
25 BG4-9151 FZANA PCB
26 SPARE
27 BG4-7937 CCD OPTF CAP2 PCB
200V/3P/28.0KVA , 200V/1P/4.5KVA
1999 vintage.
CANON FPA 3000 i5는 고성능 리소그래피 및 고급 마이크로 가공을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 800mm x 800mm 필드 크기의 CANON FPA 3000I5는 최대 80nm 해상도의 고정밀 패턴을 만들 수있는 고급 광학 이미징 장비입니다. 이 시스템에는 ISDe (Installed Source Deuterium) 레이저 소스, 향상된 시리즈 마스크 체인저, 새로 설계된 스테이지 앰프, 맞춤형 제어 소프트웨어 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 최대 4K fps의 이미징 성능과 정밀 스캔을위한 전동 포지셔너 (MP-1400) 와 이미지를 직접 볼 수있는 고해상도 2MP 모니터를 갖추고 있습니다. FPA-3000 I5는 MEMS, 반도체 및 바이오 제작 프로세스와 같은 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계되었습니다. 고해상도 이미징 기능을 통해 정확도 향상, 수율 향상, 처리량 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. ISDe (Integrated Source Deuterium) 레이저 소스는 넓은 스펙트럼을 가진 광원을 가능하게하여 리소그래피 (lithography) 공정에서 더 큰 깊이와 유연성을 제공합니다. 뉴 시리즈 마스크 체인저 (New Series Mask Changer) 는 여러 노출 소스와 마스크를 처리하여 프로세스에서 더 높은 수준의 정확성과 유연성을 제공합니다. CANON FPA-3000 I5에는 향상된 모터 및 제어 알고리즘 (스테이지 진동 및 스캐닝 향상) 과 새롭게 설계된 스테이지 앰프 (stage amplifier) 가 포함되어 있어 정확도가 향상되고 측정 속도가 빨라집니다. 이 기계는 또한 사용자 지정 (custom-developed) 제어 소프트웨어를 포함하며, 유연성과 안정성을 제공하며 사용자 친화성을 향상시킵니다. 따라서 다운타임을 최소화하면서 더 나은 결과와 더 정확한 측정이 가능합니다. FPA 3000 i5 는 모듈식 (modular) 아키텍처로 설계되어 다양한 애플리케이션 과제를 해결할 때 더욱 다양한 기능과 유연성을 제공합니다. 개방형 프레임워크를 갖추고 있어, 다른 시스템과 쉽게 통합할 수 있습니다. FPA 3000I5 는 최대 정밀도와 정확도를 갖춘 고해상도 패턴화를 달성하기 위한 이상적인 툴입니다.
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