판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #9065380

CANON FPA 3000 i5 + 는 80mm, 100mm 및 200mm 웨이퍼에 대해 매우 효율적이고 정확한 노출을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 최신 이미징 광학 (Imaging Optic) 과 첨단 기술로 고정밀 패턴을 안정적으로 생산할 수 있습니다. CANON FPA 3000I5 + 는 세계에서 가장 발전된 웨이퍼 스테퍼라고 불리는 다른 웨이퍼 스테퍼 모델보다 훨씬 높은 것입니다. 이 스테퍼는 지능형 제어 논리 (Intelligent Control Logic) 에 의해 구동되며, 이는 정밀 패턴 배치 및 시스템 생산성 향상을 허용합니다. 또한 고속 스캔 및 시청 기능을 위해 정교한 SmartView Iris를 갖추고 있습니다. 또한, 필드 플랫 렌즈 (field flattening lens) 는 200mm 웨이퍼와 같이 큰 웨이퍼에서 수행 할 때 잔류 이미지 왜곡을 완화시키는 데 도움이됩니다. FPA-3000 I5 + 는 wafer pre-alignment 및 post-alignment 노출에서 탁월한 정확성을 위해 여러 가지 인상적인 기능을 자랑합니다. 듀얼 옵틱스 시스템 (Dual Optics System) 은 두 개의 웨이퍼를 동시에 노출시켜 생산 시간을 병렬화 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 UHNA (Ultra High Numerical Aperture) 광학 설계를 특징으로하여 0.10 마이크로 미터까지 해상도를 낮출 수 있습니다. 이것은 극한의 이미지 품질을 가진 도전적인 회로 구조에 충분한 정확성을 보장합니다. 또한, FPA 3000I5 + 에는 인식 정확도를 최적화하는 동안 웨이퍼의 가장자리를 자동으로 감지하기 위해 Iris와 함께 작동하는 에지 스캐너 (Edge Scanner) 옵션이 있습니다. 마지막으로, 이 스테퍼에는 CANON 전용 자동 Photomask 프로세스 (APP) 가 있으므로 정렬 후 노출의 완벽한 제어가 가능합니다. APP 모듈을 사용하면 Photomask 의 다양한 Wafer 처리량 구성을 손쉽게 삽입, 제어, 검사할 수 있습니다. 요약하면, FPA 3000 i5 + 는 현재 가장 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. Dual Optics System, UHNA optics 및 Edge Scanner는 탁월한 정확성과 이미징 기능을 제공하여 고정밀 패턴을 안정적으로 생산할 수 있습니다. 또한 APP 모듈은 사용자가 사후 정렬 노출을 완전히 제어할 수 있도록 합니다. CANON FPA-3000 I5 + 의 이러한 기능을 활용하여 사용자는 80mm, 100mm 및 200mm 웨이퍼에 대해 매우 효율적이고 정확한 노출을 기대할 수 있습니다.