판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #293829393

CANON FPA 3000 i5 + 는 최대 0.2 m의 해상도를 가진 컴팩트한 멀티 스테이지 필드 포토 리토 그래피 스테퍼입니다. 5 ~ 200 밀리미터 직경의 반도체 소자까지 수많은 웨이퍼 기판으로 고정밀 패턴 전송을 위해 설계되었습니다. 스테퍼는 일련의 거울, 렌즈 및 필터를 사용하여 자외선 (UV Light) 을 사용하여 웨이퍼에 패턴을 생성합니다. 이 장치는 1 개의 메인 스테이지와 4 개의 독립적 인 5 단계 디자인을 기반으로합니다. 각 스테이지에는 전동 XY 제어를 위해 구성된 정적 (static) 과 동적 (dynamic) 미러가 장착되어 있습니다. 이 장비는 다운타임을 최소화하면서 한 번에 몇 개의 웨이퍼를 정확하고, 반복적으로 정렬하고, 노출시킬 수 있습니다. 또한 일관되고 정확한 노출 시간을 위해 내장 된 전동 교정 시스템을 제공합니다. 스테퍼에는 0.2 jm 해상도의 고해상도 아스페릭 렌즈 인 CANON FPA-3003 I-5 + 를 포함한 다양한 렌즈가 장착 될 수 있습니다. 조정 가능한 이미지 (Adjustable Image) 필드로 장치를 구성할 수도 있으며, 다양한 크기 범위의 패턴을 최적으로 노출할 수 있습니다. 스테퍼는 Automatic fiducials, Multi-align 센서 및 Air-float Z-Axis Camera 시스템과 같은 다양한 이미징 도구와 호환됩니다. 또한 +/- 0.1 "m 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 에서 +/- 5" m 임의의 시프트 이동까지 다양한 정확성 및 반복성 기능을 제공합니다. 또한, 스테퍼는 직경 최대 10 인치의 통합 웨이퍼 마운트를 지원하고, 자동 기판 교환 머신을 제공하며, 기판 변경을 쉽게 할 수있는 자동 포지셔닝 (autopositioning) 도구를 갖추고 있습니다. 자산은 또한 자동 측정, 라인 에지 감지, 대비 개선 센서 등 다양한 센서를 지원합니다. 스테퍼는 또한 전체 장비의 온도를 제어하는 열 제어 (thermal control) 및 진동 감소 모델 (vbration reduction model) 을 통합하여 + 3 ~ + 20 ° C 범위 내에 유지합니다. 또한 해상도 0.2m로 물체 또는 포인트를 추적 할 수있는 스캐너 시스템을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 고정밀 패턴 전송 및 반복성이 가능합니다. 전반적으로 CANON FPA 3000I5 + 는 조절 가능한 이미지 필드와 다양한 센서를 갖춘 매우 다양한 다단계 광석판 장치입니다. 무수한 와퍼 (wafer) 기판으로의 고정밀 패턴 전송을 위해 설계되었으며, 반도체 소자 생산에서 수많은 응용 분야에 적합합니다.