판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #293827690

CANON FPA 3000 i5 + 는 반도체 장치 및 집적 회로 제조에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 다음과 같은 다양한 기능과 이점을 자랑합니다. 각 다이 (die) 가 석판적으로 노출 된 정밀하고 반복 가능한 정렬을 보장하는 고해상도 정렬 시스템; "자동 초점 (auto-focus) '기능은 예제 평탄성을 지속적으로 유지하고 사용자 조정 없이 더 높은 정밀도 초점을 제공합니다. 추가 2 축 회전 단계를 통해 노출 용량 및 용량 균일성을 더 세밀하게 제어 할 수 있습니다. 고출력 어플리케이션을 지원하는 고출력 8파장 레이저. CANON FPA 3000I5 + 는 또한 최대 컨트롤러 지터가 10 피코 초에 불과한 매우 빠른 샘플링 및 스텝 앤 리피트 속도를 활용할 수 있습니다. 장치 내부의 온도 변동이 감소하면, FPA-3000 I5 + 는 여러 웨이퍼에서 노출 용량을 일관되고 균일하게 유지할 수 있습니다. 샘플 변형으로 인한 다이 오정 (die misalignment) 을 방지하여 프로세스 신뢰성을 향상시킵니다. 또한 초정밀 노출 장치를 통해 다이 투 다이 (die-to-die) 일관성과 높은 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 FPA 3000 i5 + 는 추가 프로세스 제어 기능을 위해 선택적 XY 단계를 제공합니다. 이 XY 단계는 고성능 밀봉 베어링 (sealed bearing) 유형으로 구성되어 정확한 포지셔닝 및 안정성을 제공합니다. 또한 스핀 마스터 장치 (spin-master device) 의 사용을 지원하여 포토 esist 패턴 편차 평가, 향상된 정밀 정렬, 노출 용량 테스트와 같은 고급 프로세스 제어 기술을 사용할 수 있습니다. CANON FPA-3000 I5 + 에는 빠른 작업 변경 및 웨이퍼 로딩이 가능한 통합 이동식 팔레트 디자인도 있습니다. 각 배치에 필요한 모든 정보 (예: 노출 설정, 결과, 노출 전 레시피) 를 캡처합니다. 듀얼 디스플레이 터치 패널을 통해, 연산자는 프로세스 상태, 현재 노출, 레시피 설정을 동시에 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로 CANON FPA 3000 I5 + + 는 초정밀 프로세스 제어를 위해 만들어진 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 3000 i5 + 는 고해상도 정렬기, 자동 초점, 8파장 레이저를 사용하여 높은 처리량 응용 프로그램에서 정확한 노출, 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. XY 스테이지 (XY Stage) 와 직관적인 도구 설계를 통합하여 반도체 장치와 집적 회로의 안정적이고 정확한 생산을 보장합니다.