판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #293817803
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ID: 293817803
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.63
Resolution: 350 nm
DCO: 50
Throughput (wph): 100-200.
CANON FPA 3000 i5 + 웨이퍼 스테퍼는 반도체 기판에서 매우 섬세한 구성 요소의 생산 수준 제조를 위해 설계된 고급 광학 석판화 장비입니다. 고급 스테퍼를 사용하여 서브 미크론 해상도로 기판을 미세하게 패턴화합니다. CANON FPA 3000I5 + 는 높은 반복성과 정밀 수준을 가지고 있어 매우 작은 기판의 일관되고 정확한 처리를 보장합니다. FPA-3000 I5 + 는 노출 정확도에 대한 단계 및 반복 프로세스, 이미지 안정성 향상을 위해 MAI (Mirror Aid Imaging), 미세 조정 필름에 대한 특허를받은 저항 코팅 기술 등 다양한 고급 석판화 기술을 사용합니다. 이 시스템은 또한 고정밀 렌즈 장치에 결합 된 고출력 제논 (xenon) 플래시 램프를 장착하여 최대 광도 (light intensity) 와 전폭 (edge-to-edge) 선명도 및 균일성을 제공합니다. CANON FPA 3000 I5 + + 에는 제어 소프트웨어, 기판 매핑을위한 높은 정확도의 에지 프로파일 센서 (EPS), 광범위한 노출 필드를 다루는 최첨단 가변 피치 변환 렌즈, pellicle 보호 기술, 온도 조절과 같은 몇 가지 추가 기능이 제공됩니다. 성능 최적화. FPA 3000 i5 + 는 모듈식으로 설계되었으며, 대용량 운영 요구 사항이나 특화된 프로토타입 (prototyping) 요구 사항과 같은 특정 애플리케이션 요구를 충족하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 사용하면 다이 스택을 구성하여 고해상도 이미징 및 빠른 처리 시간을 보장할 수 있습니다. CANON FPA-3000 I5 + 는 기판 간 및 단계 및 반복 방법을 포함하여 뛰어난 처리 유연성을 제공합니다. 정교한 석판화 기술은 또한 뛰어난 영화 균일성을 보장하여 일관된 제품 품질을 보장합니다. 또한, 이 기계의 고급 제어 도구, 컴퓨터 지원 진단 (computer-aided diagnostics) 및 포괄적인 서비스 기능을 통해 대용량 운영 실행이나 맞춤식 프로토타입 (prototyping) 요구 사항에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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