판매용 중고 CANON FPA 3000 i5+ #293625346

CANON FPA 3000 i5 + 는 반도체 제작 및 이미징 응용 프로그램을위한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 새로운 HAR (High-Acceptance-Rate) 기술 플랫폼을 기반으로 처리량, 필드 크기, 비용 및 사용자 유연성 측면에서 기존 웨이퍼 스테퍼를 향상시킵니다. 스테퍼에는 진동 및 발자국 크기를 줄이는 트윈 칼럼 간트리 구조 디자인이 있습니다. 최대 1.1 나노 미터 (nanometer) 의 스캔 패턴 정확도를 가능하게하며, 균일 한 조명과 처리 된 웨이퍼의 높은 수율을 위해 100mm-500mm 범위에서 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 이 시스템에는 또한 PSM (alternating phase-shift mask) 및 이진 마스크 반점의 왜곡을 수정하는 이중 계층 맵 보정 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 오버레이 오류가 줄어들고 복잡한 디바이스의 운영 비용이 최소화됩니다. 스텝퍼는 스캐닝 모드에서 시간당 최대 65 웨이퍼, i5 + 쿼드 코어 프로세서 및 Image Logic Control Suite 소프트웨어를 사용하여 + 큐 모드 스캔에서 시간당 최대 85 웨이퍼의 처리량을 갖습니다. 광도 기계식 디자인은 최대 0.2nm의 높은 정확도 초점 보정 (focus correction) 을 생성하여 고품질 표면 마무리로 이어집니다. 또한 CANON FPA 3000I5 + 는 향상된 로드 및 클리닝, 뛰어난 이미징을위한 광학 기능, 운영자 편의성 및 보호를 위한 안전 기능 등 일련의 고급 기능을 선전합니다. 에어컨 작업 공간, 고급 항공 관리 기능, 향상된 기술 기능, 저비용 (low-cost) 및 저소음 (low-noise) 작동이 가능합니다. 또한 원격 이미지 획득, OPC 및 MES 지원, 시스템 모니터링 등 다양한 접속 옵션을 제공합니다. 즉, 기존 Fab 회선과 시스템을 직접 통합하여 시스템 효율성을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 결론적으로, FPA-3000 I5 + 는 강력한 기능과 컴팩트 한 디자인을 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 최신 HAR 기술을 통해 높은 처리량, 정확성, 수율을 제공하며, 유연한 옵션과 접속성을 제공하여 기존 시스템에 원활하게 통합할 수 있습니다. 고급 기능 덕분에, 이 스테퍼는 고품질 반도체 제작 및 이미징을 위한 신뢰할 수 있는 도구입니다.