판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #293615953

CANON FPA 3000 i5는 고급 반도체 어플리케이션을 위해 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 광학, 리소그래피, 모션 컨트롤 기술의 최신 혁신을 활용해 기존의 광학 리소그래피 (optical lithography) 방식보다 작고, 더 정확한 기능을 제공합니다. CANON FPA 3000I5는 고성능 음성 코일 모터와 정밀 텅스텐 선형 인코더로 구동되는 정밀 정렬 스테퍼 스테이지를 특징으로합니다. 이를 통해 뛰어난 반복성으로 기판 및 렌즈를 매우 정확하게 포지셔닝 할 수 있습니다. "스테퍼 '는 여러 가지 기판 과" 렌즈' 크기 를 처리 할 수 있다. FPA-3000 I5 (FPA-3000 I5) 를 사용하면 렌즈 어셈블리 (옵션), 높이 조절 스테퍼 스테이지 및 추가 렌즈를 선택하여 미세 리토 그래피 설정을 조정하여 직경이 최대 800mm 인 대형 필드 크기를 수용할 수 있습니다. 또한 이 스테퍼에는 고해상도 정렬 장비 (alignment equipment) 가 있어 시스템 작동 전에 렌즈와 기판을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 단위는 리소그래피 프로세스의 각 단계에서 정렬 정확도를 확인할 수도 있습니다. 스테퍼는 기존의 아크 램프, 고급 i-line 및 KrF ArF 엑시머 레이저를 포함한 다양한 조명 시스템을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 더 높은 처리량, 더 나은 이미징 해상도, 향상된 운영 프로세스의 혜택을 누릴 수 있습니다. CANON FPA-3000 I5에는 thewafer 카세트 로더 및 로봇 기판 처리 기계와 같은 다양한 웨이퍼 처리 도구가 장착되어 있습니다. 또한 자체 청소와 같은 고급 내장 자동 유지 관리 기능도 제공합니다. 스테퍼는 컨트롤러, 패턴 정렬, 레이아웃 확인, 미세한 검사, 프로세스 최적화, 모션 제어를 위한 소프트웨어 도구를 갖춘 고급 리소그래피 소프트웨어 제품군을 제공합니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 이러한 기능과 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 FPA 3000 i5 를 사용하면 자동 Wafer 식별 및 검증, 데이터 로깅 및 분석, 온도 제어 등 다양한 고유 기능에 액세스할 수 있습니다. 이 툴은 다양한 보고서와 통계 데이터 (통계 데이터) 를 제공하여 최적의 성능을 보장합니다. FPA 3000I5 (FPA 3000I5) 는 견고하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼로 반도체 업계의 경쟁 기술보다 성능이 우수하도록 설계되었습니다. 첨단 기술과 기능을 갖춘 이 자산은 기존의 광학 리소그래피 (optical lithography) 기술보다 뛰어난 성능과 높은 처리량을 제공합니다.