판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #293615952

CANON FPA 3000 i5는 여러 기술에 걸쳐 고급 웨이퍼 처리를 위한 고급 옵티컬 성능을 갖춘 풀 필드 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀 웨이퍼 패턴화 (wafer patterning) 및 검사 기능을 제공하여 시간당 최대 200개의 웨이퍼를 출력하도록 설계되었습니다. CANON FPA 3000I5는 1 ~ 1 픽셀 피치와 95 nm 해상도의 5 메가 픽셀 스테퍼 헤드를 특징으로하여 매우 정확한 이미지 배치 및 정렬을 달성 할 수 있습니다. 두 개의 고속, 동적으로 재구성 가능한 스테퍼 모터가 장착되어 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝 및 정렬이 가능합니다. FPA는 5 개의 렌즈와 6 개의 위치 (Motorized Mirror) 어레이로 구성된 빠르고 처리량이 높은 광학 시스템을 사용하여 다양한 패턴 크기와 시뮬레이션 해상도 사양에 걸쳐 고해상도 이미징을 제공합니다. GaAs, Si 및 SOI에서 석영 및 고급 유기 태양 광 물질에 이르기까지 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. FPA-3000 I5에는 웨이퍼 에지 정렬 및 저전력 근접 감지를 위한 통합 웨이퍼 레벨 센서가 장착되어 있습니다. 또한 고급 웨이퍼 검출을위한 임베디드 다크 필드 이미지 캡처 (embedded dark-field image capture) 메커니즘이 장착되어 스테퍼 패턴 작업 내에 웨이퍼 표면 검사가 가능합니다. 또한, 스테퍼는 시뮬레이션 대상 등록을 위해 최대 4 개의 PI 커브를 지원할 수 있으며, 이를 통해 자동화된 기능 정렬이 가능합니다. CANON FPA-3000 I5는 최고 수준의 안정성과 운영 안정성을 보장하는 Class-1000 Cleanroom 환경으로 설계되었습니다. 선택적인 하위 주변 드라이 챔버 (sub-ambient dry chamber) 를 사용하여 웨이퍼 평탄도를 더욱 향상시키고 미립자 오염을 줄일 수 있습니다. 이 스테퍼에는 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 제공되며, 많은 웨이퍼 작업을 최소 사용자 개입 (user intervention) 을 통해 쉽게 설정하고 조정할 수 있습니다. FPA 3000I5 는 효과적이고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼로서, 빠른 처리 속도와 함께 높은 정확성과 정확성을 제공합니다. FPA 3000 i5 는 디바이스 제조 프로세스의 수익률과 성능을 향상시키거나, 최첨단 옵토일렉트로닉 (optoelectronic) 재료를 개발하는 것이 목표인지 여부, 고객의 요구에 이상적인 시스템입니다.