판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #293615951

CANON FPA 3000 i5는 반도체 생산을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 칩, MEMS 등 다양한 유형의 부품을 측정, 생산할 수 있다. 스테퍼는 i-line, krypton fluoride (KrF) 엑시머 레이저 및 매우 정밀한 확대 단계를 포함한 다양한 고급 기술을 통합합니다. 이 장치는 결함이 최소화된 고품질 (High-Quality) 부품을 생산할 수 있으므로 대용량 (High-Volume) 생산에 이상적인 제품입니다. CANON FPA 3000I5에는 고속 웨이퍼 절단을 용이하게하기 위해 I-Line 엑시머 레이저가 장착되어 있습니다. 이 기술을 통해 시간당 최대 1500 개의 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 노출 할 수 있습니다. 또한, KrF 엑시머 레이저를 사용하면 노출 결과와 라인 폭이 더 작아집니다. 스테퍼는 또한 노출 균일성을 증가시키는 메커니즘과 함께 높은 정확도 확대 단계를 포함합니다. 이 기술을 통해 정확하고 안정적인 웨이퍼 레벨 노출이 가능합니다. 높은 노출 기능 외에도, FPA-3000 I5에는 고급 Z축이 장착되어 있어, 정확하고 정확한 스테퍼 성능을 제공합니다. 또한 이 장치에는 효율적이고 빠른 속도로 생산할 수 있는 다양한 자동화 (automation) 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 구성 요소의 균일 한 통합과 향상된 처리량을 보장하는 DAF (Dynamic Autofocus) 기술이 있습니다. 이 기술은 또한 빠른 노출 샷 변동성을 구현하고 마스크 정렬 시간을 줄입니다. 또한 CANON FPA-3000 I5에는 안정적이고 효율적인 프로세스 결과를 보장하는 고정밀 노출 컨트롤러가 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 (wafer) 환경을 조절하고 모니터링하는 고급 열 관리 시스템 (Thermal Management System) 이 장착되어 있어 온도 및 습도 수준을 안정적으로 유지합니다. 이 기술은 처리된 높은 웨이퍼 품질을 유지하고 노출 오류를 방지합니다. FPA 3000I5 는 안정적이고 효율성이 뛰어난 스테퍼로서, 광범위한 구성요소 생산에 적합합니다. 아트자동화 (Art Automation) 기술의 첨단 기능과 상태 (State of Art Automation) 를 통해 대용량 생산에 이상적이며 최적의 수율로 더 효율적인 프로세스를 활용할 수 있습니다. 고정밀 (High-Precision) 노출 컨트롤러는 안정적이고 안정적인 성능을 보장하는 반면, 고급 열 관리 시스템은 고품질 결과를 유지하는 데 도움이 됩니다.