판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #293607520

CANON FPA 3000 i5는 대규모 집적 회로를 생성하는 데 사용되는 고성능 광 프로세서입니다. 정밀도, 정확도, 속도가 뛰어난 대규모 집적 회로 (LSIC) 를 생산하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 5 축 스캔 장비, 고해상도 5 µm 광학 및 6 초의 빠른 스캔 속도가 특징입니다. 비전 컨트롤 시스템 (Vision Control System) 기술이 적용되어 비전 유닛 (Vision Unit) 구성 요소를 통합하여 웨이퍼에 구성 요소를 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. CANON FPA 3000I5는 광학, 전자 제품, 드라이브 유닛, 비전 시스템 등의 기본 구성 요소를 제공하는 범용 플랫폼으로 구성되어 있습니다. 광학에는 Lumicron L i5-L3 조명기, Magnicon L i5-H3, Zeiss Kg-10i5 렌즈, Oriel L7-E3, Lumenatech 및 Modular Illuminator가 포함됩니다. 이러한 옵틱을 사용하면 매우 정확한 이미징, 고해상도 검사, 매우 빠른 스캐닝이 가능합니다. 전자 제품에는 고속 디지털 프로세싱 및 제어 머신 (Control Machine) 이 포함되어 있어 최고의 정확성과 제어를 제공합니다. 드라이브 장치는 고출력 스테퍼 모터 (stepper motor) 로 구성되며 스캐닝 및 포지셔닝을위한 기계식 장치를 구동하며 부드럽고 정확한 처리를 제공합니다. 비전 (vision) 소프트웨어를 사용하면 웨이퍼 내의 컴포넌트를 고급 검사하고 정렬할 수 있습니다. FPA-3000 I5 는 대용량 운영 프로세스와 애플리케이션에 적합합니다. 이 도구는 1 ½ m 미만의 이미지 이동 및 왜곡, 고속 스캐닝 (6 초) 및 IC 생산에 대한 높은 정확도 정렬을 갖춘 고정밀 5 äm 광학을 갖추고 있습니다. FPA 3000I5는 200mm, 250mm, 300mm 및 450mm를 포함한 다양한 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 가변 오버레이 정확도와 처리량 성능으로 매우 정확한 실리콘 웨이퍼 처리를 지원합니다. 혁신적인 기술로, 이 웨이퍼 스테퍼는 복잡한 IC 생산 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.