판매용 중고 CANON FPA 3000 i5 #293606923

CANON FPA 3000 i5
ID: 293606923
i-Line stepper.
CANON FPA 3000 i5 Wafer Stepper는 고품질 포토 마스크 및 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고급 석판 장비입니다. 이 시스템은 조정 가능한 스테이지 정확도를 가진 고출력 NA (Variable Numerical Aperture) 프로젝션 렌즈를 갖추고 있으며, 복잡한 구조와 뛰어난 프로세스 제어가 가능합니다. 이 장치는 내장 HDR (High Dynamic Range) 이미징 기술을 사용하여 온칩 (On-Chip) 기능을 보다 상세하게 사용하여 복잡한 회로 레이아웃에 더 높은 수율 (Yield Rate) 을 제공합니다. 이 기계에는 다방향 정렬을위한 5 축 동력 스테이지와 정확한 초점 제어를 위한 강력한 초점 컨트롤러가 있습니다. CANON FPA 3000I5는 또한 최대 900um/s의 스캔 속도로 탁월한 처리 속도를 제공합니다. 이는 높은 NA (투자 수익) 와 함께 높은 처리량을 보장하며 대용량 운영 (운영) 에 적합한 툴입니다. 고급 스테퍼 컨트롤러는 향상된 자동화 기능으로 더 나은 프로세스 제어를 제공합니다. 에셋은 또한 최대 125nm 해상도의 높은 정확도 마스크를 생성 할 수 있습니다. FPA-3000 I5 는 기능 인식, 정렬, 등록 기술 등 다양한 고급 기능도 제공합니다. 자동화 기능 (Automation features) 을 통해 모델은 한 번의 작업으로 photomask에 여러 피쳐를 빠르게 감지하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 확대/축소 및 패닝 기능이 내장되어 있어 더욱 세부적인 정밀도를 제공합니다. 이 장비는 또한 고도의 품질과 정확성을 보장하기 위해 밝은 필드, 어두운 필드 (dark field), 현미경 (microscopy) 과 같은 고급 검사 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. FPA 3000I5 (FPA 3000I5) 는 사용자 요구 사항에 맞게 손쉽게 맞춤형으로 구성할 수 있는 맞춤형 시스템입니다. 다양한 호환 액세서리 (Compatible Accessory) 와 소프트웨어 (Software) 애플리케이션을 통해 다양한 프로세스와 시스템에 통합할 수 있습니다. 이 장치는 신뢰할 수 있으며 뛰어난 성능을 제공하여 포토 마스크 (photomask) 제작에 이상적인 선택입니다.
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