판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9402495

CANON FPA 3000 i4는 반도체 제작 및 연구에서 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 5 축 웨이퍼 스테퍼 장치입니다. 독특한 선형 가속/감속 메커니즘과 3D 필드 보정을위한 9 축 동작 장비를 특징으로하며, 광학 석판화 응용 분야에서 가장 높은 해상도를 제공 할 수 있습니다. 통합 이미지 형성 회로와 내장 광학 시스템 (Optics System) 은 웨이퍼 스테이지의 정확한 정렬을 보장하므로 처리량 및 신뢰성이 향상됩니다. CANON FPA-3000I4 의 자동 정렬 장치 (automated alignment unit) 는 두 세트의 자동 정렬 센서를 사용하여 마스크와 웨이퍼 스테이지를 빠르고 정확하게 정렬합니다. 이 기계는 적절한 렌즈 포지셔닝 및 빔 정렬을 위해 레이저 디플렉터와 레이저 신호 인터페이스를 사용합니다. 또한, 이 도구는 다양한 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있으며, 스테퍼 프로그래밍 및 향상된 웨이퍼 성능에 대한 노하우 (know-how) 를 제공합니다. 둘 다 패턴 화 된 웨이퍼 제작에 사용될 수 있습니다. 또한, FPA 3000I4는 5 배 감소 스캐너를 특징으로하여보다 정확하고 높은 해상도의 이미징을 제공합니다. 컴팩트 한 디자인으로 운영 공간을 최소화하고 진동을 줄여 정확도를 높입니다. 또한, FPA-3000 I4는 기존 마스크 쓰기 스테퍼보다 최대 20 배나 빠른 패턴을 캡처하고 저장할 수 있습니다. 또한 노출, 디스플레이, 패턴 최적화와 같은 동급 최고의 리소그래피 작업도 제공합니다. CANON FPA 3000I4의 고급 냉각 자산은 적절한 열 관리를 보장하며, 안정적인 운영 환경을 제공합니다. 이 모델은 또한 고급 모니터링 기능 (예: 웨이퍼 조건에 따라 온도를 감지, 측정, 조정하는 동적 온도 수정 시스템) 을 제공합니다. 적응 적 노출 지침을 활용하여, 사용자는 도전적인 석판화 응용 프로그램 (lithography application) 에서도 최고 수익률을 얻을 수 있습니다. FPA 3000 I 4는 SEMI E-170 및 SEMI E-182와 같은 여러 산업 표준을 준수하며 수락/거부 정렬을 지원합니다. 캐논 FPA 3000 I 4 (CANON FPA 3000 I 4) 는 패턴화 된 웨이퍼 제작을위한 고급 플랫폼을 제공하기 때문에 반도체 제작 및 연구에 이상적인 장비입니다. 고정 마스크, 대용량 생산 및 LED 리소그래피 어플리케이션에 대한 정확도, 민감도, 속도 및 효율성을 제공합니다. 직관적인 컨트롤과 동급 최고의 기능 세트로, 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 사용자에게 반도체 생산 요구를 발전시키는 데 필요한 모든 장비를 제공합니다.