판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9384534

캐논 FPA 3000 i4 (CANON FPA 3000 i4) 는 자외선 투영 광학 장비와 현대 석판 기술을 활용하여 포토 마스크를 웨이퍼에 정확하게 패턴화하는 고급적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 디바이스 (advanced device) 는 결함을 최소화하고, 프로세스 처리량을 최대화하고, 신속한 처리량을 제공하여, 전체 처리 시간을 줄이고, 디바이스 수율을 향상시키는 여러 가지 기능을 제공합니다. 스테퍼 (stepper) 는 고급 스캐너와 렌즈 요소의 조합을 사용하여 최고 수준의 정확도를 달성합니다. 렌즈 요소는 장치에 최대 0.72 개의 숫자 조리개를 제공하고 1 ~ 4 개의 최첨단 자화 비율을 제공합니다. 스테퍼는 또한 양수 (Positive) 및 음수 대비 (Negative Contrast) 저항 유형을 모두 처리할 수 있으며 고광도 및 저광도 모두에서 패턴 오버레이를 달성 할 수 있습니다. 이 장치에는 라인 엔드 모서리 (line-end edges) 와 같은 작은 기능과 이미징 필드에 큰 편광, 병합, 균일성 (unifority) 을 제공하는 향상된 광학 시스템이 있습니다. 게다가, 렌즈의 빛 활용을 향상시키고, 포토 마스크 중복을 크게 감소시키는 반 방목 발병률을 가지고 있습니다. 따라서 이 장치는 다양한 포토 마스크 (photomask) 와 더욱 복잡한 패턴에 적합합니다. CANON FPA-3000I4 에는 패턴 정렬 시스템이 장착되어 있어 프레임 및 필드 이미징을 정확하게 처리할 수 있습니다. 프레임과 필드 이미징에는 각각 2 개의 패턴 정렬 시스템이 사용됩니다. 프레임 정렬 장치 (Frame Alignment Unit) 는 3개의 점을 비교하여 전체 프레임을 정렬할 수 있으며, 필드 정렬 머신 (Field Alignment Machine) 은 프레임 정렬 도구에 비해 작은 피쳐를 식별할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고효율 사각형 스캔 광학, 고성능 디플렉터 광학, 고정밀 자동 초점 광학 등 레티클 스캔, 디플렉팅 및 포커싱을 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 장치가 다양한 패턴을 처리할 수 있습니다. 즉, 공차 (tolerance) 의 한계가 크고 정확도가 높습니다. FPA 3000I4 는 또한 강력한 리소그래피 (lithography) 프로세스를 제공하며, 이는 리소그래피가 장치의 핵심이기 때문에 중요한 기능입니다. 장치에 사용된 공랭식 램프는 포토 마스크 (photomask) 에 패턴을 만들기 위해 깊은 UV 표시등을 만들어 결함 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 다른 광학의 정렬 또는 조정을 필요로 하지 않고도 램프를 효율적으로 교체 할 수 있습니다. 전반적으로, FPA-3000 I 4 는 프로세스 효율성 향상, 다운타임 감소, 처리 속도 향상을 위한 다양한 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 리토그래피 (lithography) 와 패턴 정렬 (pattern alignment) 기술을 활용하여 고정밀도 패턴을 만들고, 결함의 위험을 줄이고, 장치 수율을 증가시키는 데 도움이 되는 여러 가지 기능을 자랑합니다.