판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9238745

CANON FPA 3000 i4 Wafer Stepper는 웨이퍼 레벨 photolithography 응용 프로그램에 이상적인 반도체 이미징 도구입니다. 이 장비는 4 개의 매우 민감한 프로젝션 광학을 갖추고 있으며, 최소 왜곡으로 탁월한 해상도와 고속 프로세스 속도를 제공하도록 최적화되었습니다. CANON FPA-3000I4는 특히 Perfect Layer Transfer Technology를 통해 마스크 없는 리소그래피 응용 프로그램에 적합하며, 이는 가장자리 투여 효과를 최소화하면서 정확한 웨이퍼 수준의 작동 정확성을 보장합니다. 이미지 품질이 우수하도록 FPA 3000I4는 40nm 수치 조리개 광학 시스템, 자동 측정 도구를 사용한 자동 정렬 및 조정, 흉터 내성 및 스크래치 방지 기판 보호를위한 효과적인 화학 오버 코트 (chemical overcoat) 를 사용합니다. 또한, 이 장치는 투영 된 패턴의 변화를 최소화하기 위해 고급 조명 (예: 전체 균일 조명) 을 통합합니다. 이 도구의 내장 프로세스 제어, 동작 안정성, 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능은 모두 수익률 극대화 및 비용 절감을 위해 노력하는 반면, 사전 승인된 프로세스 머신 구성은 프로세스의 변동성을 제거합니다. CANON FPA-3000 I4에 내장 된 다른 성능 부스터는 스테이지 서피스 및 컨투어 기술 (Contour Technology) 에 대한 고급 온도 제어로, 평평하지 않은 표면을 보상하여 프로세스 결과를 개선합니다. 이 도구의 능률적인 기능과 탁월한 특성으로 인해 CANON FPA-3000 I 4는 반도체 생산 라인에서 귀중한 자산으로, 높은 처리율과 우수한 리소그래피 결과를 보장합니다. 이 자산을 사용하여 제조업체는 이제 낮은 라인 엔드 풀백, 뛰어난 CD 균일성, 고해상도 라인 패턴, 정확한 오버레이 정렬을 달성할 수 있으며, 모두 용량 면적의 불일치를 최소화합니다. 또한, 이 툴은 모델 확장 및 업그레이드를 용이하게 하기 위해 고안되었으며, FPA-3000 I 4 는 안정적이고, 비용 효율적이며, 생산적인 리소그래피 솔루션을 추구하는 업계에 이상적인 투자입니다.