판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9238727

CANON FPA 3000 i4는 고급 반도체 제조를 위해 설계된 고급의 다단계 프로젝션 정렬기입니다. CANON FPA-3000I4는 최신 기술을 사용하여 정확한 해상도를 만들고 20-200 나노미터 구성 요소를 정렬합니다. 고급 투사 광학 장비 (Optics Equipment) 는 2 나노 미터의 수정되지 않은 해상도를 가능하게하며, 매우 정확한 정확도로 도전적으로 작은 반도체 부품을 정확하게 배치하고 정렬 할 수 있습니다. 구성 요소의 활성 3D 정렬 및 등록을 허용하는 온보드 RTSM (Real-Time Metrology System) 과 완벽하게 통합됩니다. FPA 3000I4는 매우 에너지 효율적입니다. 저소음, 조용한 냉각 장치 및 다양한 혁신적인 조명 시스템이 특징입니다. 고효율 할로겐, Ar + 금속 할라이드 및 i 라인 광원을 특징으로하는 4 빔 조명 기계 (IFIS). 이를 통해 다양한 웨이퍼 크기와 재료에 걸쳐 구성 요소를 정확하고 균일하게 노출할 수 있습니다. 견고하고 정확한 메커니즘을 통해 모든 방향에서 고속, 정밀 이동이 가능하므로 탁월한 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공합니다. 투사 헤드 (Projection Head) 는 고급 RTSM 및 매우 정밀한 광학과 결합 된 매우 정확하고 정확한 스테이지 보상 도구를 사용하여 부품을 20 나노미터까지 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 FPA-3000 I 4 는 사용자가 사용자 정의 소프트웨어 루틴을 개발하여 점점 더 효율적인 반도체 프로세스의 발전과 발전을 촉진할 수 있는 완전 자동화된 애플리케이션 개발 환경을 갖추고 있습니다 (영문). 마지막으로, CANON FPA 3000I4 는 자산 추적 기능, 간편한 변경이 가능한 구성 요소, 간편한 유지 보수/업그레이드 등 상당한 운영 지원을 제공합니다. 또한 FPA 는 안전하고 안전한 운영을 제공하고, 사용자 교육을 용이하게 하며, 복잡한 석판화 작업 (lithography operation) 에 더욱 신속하게 투입할 수 있습니다.